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公司動(dòng)態(tài)

SMC推出了一款平行密封型門(mén)閥XGTP系列

閱讀:535          發(fā)布時(shí)間:2018-3-29

SMC新推出了一款平行密封型門(mén)閥XGTP系列。產(chǎn)品采用平行密封結(jié)構(gòu),可對(duì)應(yīng)300mm晶圓。適用于半導(dǎo)體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。
SMC平行密封型門(mén)閥XGTP系列產(chǎn)品參數(shù):長(zhǎng)壽命:300萬(wàn)次(常溫時(shí))
低發(fā)塵:發(fā)塵量減少到1/5以下(與舊型號(hào)相比)
省氣:耗氣量減少22%
輕量:14kg(盒式)
工作窗尺寸:50mm X 336mm
平行密封構(gòu)造
門(mén)上升、下降的直線(xiàn)動(dòng)作和門(mén)開(kāi)閉的夾緊采用平行密封(L motion)構(gòu)造,降低了摩擦系數(shù),可大幅減少發(fā)塵量并延長(zhǎng)使用壽命。
應(yīng)用場(chǎng)合
半導(dǎo)體加工過(guò)程中,針對(duì)各工藝腔室之間的隔離。

 

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