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超聲波清洗技術(shù)在液晶面板制造過(guò)程中的應(yīng)用

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  • 一、LCD制造過(guò)程中超聲波清洗的應(yīng)用
        液晶顯示器LCD的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,由于LCD顯示基板上有大量的微米級(jí)精細(xì)線(xiàn)路與控制用晶體管。因此,LCD顯示屏制造過(guò)程的清洗是精密清洗,清洗技術(shù)要求之高、潔凈度要求之高是業(yè)內(nèi)所*的,為了提高清洗的能力與技術(shù)水平,大家都想盡一切化學(xué)與物理的方法來(lái)進(jìn)行,有藥液清洗、刷洗、高壓汽水清洗。超聲波清洗技術(shù)也得到了廣泛應(yīng)用。主要有下列使用場(chǎng)合:
        1、成盒前的清洗:包括涂光刻膠前的清洗、退膜清洗、涂PI/TOP前的清洗。ITO玻璃在入廠(chǎng)運(yùn)輸及生產(chǎn)過(guò)程的運(yùn)輸中很容易被灰塵、有機(jī)物、油脂等雜質(zhì)污染,因此在對(duì)玻璃表面進(jìn)行涂層(光刻膠、PI及TOP)前,需要經(jīng)過(guò)多道工序的清洗后才能進(jìn)行涂布,這些清洗過(guò)程通常采取如下工藝:
        入口段 →化學(xué)噴淋→ 化學(xué)刷洗→ DI水噴淋→浸泡式超聲波28KHZ清洗 → DI水噴淋→高壓(氣)水噴淋→兆高頻超聲波噴淋1MHZ→FINAL DI水噴淋→ 氣刀吹干 →出口段 
     

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