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當(dāng)前位置：上海納騰儀器有限公司>>產(chǎn)品展示>>納米團(tuán)簇束流沉積系統(tǒng)
離子束沉積作為納米結(jié)構(gòu)的基本組成單元，團(tuán)簇或納米顆粒在納米科學(xué)中具有關(guān)鍵的地位。我們設(shè)計(jì)研制了兩套氣體聚集型團(tuán)簇源：基于熱蒸發(fā)的氣體聚集團(tuán)簇束流源和磁控等離子體...
作為納米結(jié)構(gòu)的基本組成單元，團(tuán)簇或納米顆粒在納米科學(xué)中具有關(guān)鍵的地位。我們設(shè)計(jì)研制了兩套氣體聚集型團(tuán)簇源：基于熱蒸發(fā)的氣體聚集團(tuán)簇束流源和磁控等離子體聚集型團(tuán)簇...
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