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日本新宇宙半導體特氣檢漏儀XP-703D型

閱讀：538 發(fā)布時間：2010-7-13

半導體特氣檢漏儀XP-703D型

特點：
于檢測半導體特氣的微量泄漏。
采用聲光報警。

規(guī)格

型號	XP-703D
檢測對象氣體	半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
檢測原理	型半導體式
采樣方式	自動吸引式
可檢測濃度（單位：ppm）	砷烷磷烷乙硼烷硅烷氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示	蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應答速度	10秒以內