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杭州太昊科技有限公司
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鍍膜種類劃分

時間:2012/11/13閱讀:5189
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 鍍膜按類型劃分,首先可以分為:干式鍍膜和濕式鍍膜兩種。

其中干式鍍膜主要有:真空蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜、真空離子鍍膜3

真空蒸發(fā)鍍膜可細分為:

電阻蒸發(fā)鍍膜(適用于蒸發(fā)低熔點材料,如金、銀、硫化鋅、氟化鎂、三氧化二鉻等)

電子束蒸發(fā)鍍膜(可蒸發(fā)難熔金屬,如鉬、鎢、鍺、二氧化硅、氧化鋁等)

高頻感應加熱蒸發(fā)鍍膜(蒸發(fā)速率達,蒸發(fā)源溫度穩(wěn)定,操作簡單,對材料純度要求較寬。)

電弧加熱蒸發(fā)鍍膜(特別適用于熔點高,同時具有一定導電性的材料,如石墨;裝置簡單,較廉價,缺點是放電產生的微米級顆粒會影響膜的一致性)

激光束蒸發(fā)鍍膜(可蒸發(fā)任何高熔點材料)

反應蒸發(fā)鍍膜(蒸鍍難熔化合物,如氟化鎂、氧化鋇、氧化錫等)

 

濺射鍍膜可分為:

直流二極濺射:僅適用于導電膜

直流三極濺射:僅適用于導電膜

直流四極濺射:僅適用于導電膜

射頻濺射:采用射頻電源,可鍍氧化硅,氧化鋁材料

對向靶濺射:可提高沉積速率,制取磁性鐵、鎳和其他磁性合金膜

離子束(IBS)濺射:利用離子源發(fā)出離子

磁控濺射:在直流二極濺射的基礎上,在靶材后面安放了磁鋼,使用弧光發(fā)電,用于蒸發(fā)源。

 

真空離子鍍膜可分為:

陰極電弧離子鍍:提高了沉積速率和膜的質量;還可生成致密均勻,附著力優(yōu)良的化合物膜

空心陰極離子鍍:使用空心陰極等離子電子束

多弧離子鍍

  

濕式鍍膜可分四種:

電鍍

陽極氧化

化學鍍

化學轉化膜處理


 

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