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真空計與流量計在光伏行業(yè)PECVD設備上的使用情況

時間:2011/10/24閱讀:4875
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    國內光伏行業(yè)普遍使用的PECVD設備是由德國Ruth&Rau公司提供的。如常州天合, Ruth&Rau公司國內目前重要的zui終用戶。      

    Ruth&Rau的PECVD設備上裝配的壓力計多為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,流量計多為1179B (SiH4,NH3),這些產(chǎn)品均為MKS德國工廠所生產(chǎn),所以在價格上面會比較高。而國內本土的PECVD設備商,如七星華創(chuàng)、中電48所,選配的壓力 計除MKS的626B和627D外,也有INFICON電容薄膜規(guī):CDG025D,相對MKS產(chǎn)品價格要便宜一些。兩者的區(qū)別(以CDG025D和 626B為例)主要體現(xiàn)在量程跨度和精度上面;626B的量程可以跨越105量級,如一般用的滿量程為10Torr的,zui小可以測到10-4Torr,對應INFICON滿量程10Torr的CDG025D,其zui小可以測到10-3Torr。不過,光伏行業(yè)的PECVD工藝通常真空度不會低于1Pa,常用在50-300Pa,所以,兩者都可以滿足。

    在精度方面626B的精度為0.25%,CDG025D的精度為0.2%,CDG025D略高一些,不過相差不大,可相互替代。MKS的627D是加熱型電容薄膜規(guī),精度為0.12%,與INFICON的CDG045D類似,不過這2款的價格要高很多。

    流量計方面,除了MKS的1179B系列以外,為節(jié)約成本,國內的設備商業(yè)找到想要的替代產(chǎn)品,如BROOKS,Horiba,日本山武,Alicat等 其他品牌可根據(jù)zui終用戶的要求來選擇,不過總體來說在PECVD的應用上,MKS的流量計用得zui多,性能zui穩(wěn)定,。

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