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自動(dòng)批量垂直晶片轉(zhuǎn)移機(jī)AVT是自動(dòng)雙盒垂直散裝晶圓轉(zhuǎn)移機(jī),可在塑料、金屬和石英Cassettes晶圓盒的各種組合之間傳送轉(zhuǎn)移晶片。
垂直晶片轉(zhuǎn)移機(jī)實(shí)現(xiàn)Cassettes晶圓盒移動(dòng)而不是晶片移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)更安全、更清潔的晶圓傳輸。
自動(dòng)批量垂直晶片轉(zhuǎn)移機(jī)AVT單按鈕操作使工具易于使用,是一種高可靠性、低維護(hù)的系統(tǒng)。為ISO 3級（FS209E 1級）設(shè)計(jì)；抗靜電結(jié)構(gòu)。
晶片接觸材料：抗靜電聚丙烯和縮醛，這是高純度材料，具有良好的耐磨性、良好的熱性能和優(yōu)異的耐化學(xué)性。
自動(dòng)批量垂直晶片轉(zhuǎn)移機(jī)AVT特點(diǎn)：
一次傳送25個(gè)晶片。
30秒的循環(huán)時(shí)間。
升降梳由防靜電縮醛材料制成。
固定梳由黑色縮醛制成。
自動(dòng)批量垂直晶片轉(zhuǎn)移機(jī)AVT規(guī)格參數(shù)