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這款手動探針臺適合150mm尺寸晶圓測試,是經(jīng)濟型探針臺但是具有昂貴探針臺的良好參數(shù)性能，結構緊湊而方便使用,非常適合實驗室半導體器件測試和電路測試應用。
手動探針臺適合特色

手動操作樣品臺，行程范圍100mm x 100mm 或150mm x 150mm可選

加載或卸載晶圓非常方便

傳統(tǒng)的粗調(diào)和微調(diào)臺板設計,范圍12.7mm, 25mm或40mm可選

光滑的磁鐵臺板可支撐高達10個磁性或真空定位器

高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, LED照明,放大倍數(shù)3.5X~180X

帶有相機接口

兩側帶有連接接口,適合連接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭

標準的XYZ三維位移臺顯微鏡

可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等

手動探針臺適合規(guī)格參數(shù)

適合晶圓大?。鹤罡?50mm (其它尺寸可提供）

XY位移臺： 行程范圍100mm x 100mm 或150mm x 150mm可選，分辨率3um

臺板行程：12.7mm 或更大，

臺板調(diào)整：帶有粗調(diào)和微調(diào)功能,重復精度+/-1.5um

臺板平面度：<+/-12.7um @150mm長度, 可選<+/-5um

臺板剛度：<5um @4.5kg

樣品卡盤規(guī)格

真空：3區(qū)真空

平面度：+/-13um  (可選+/-3um)

擊穿電壓：500V

隔離度：1G歐姆

調(diào)整：360度粗調(diào)， +/-6度微調(diào)

Z軸微調(diào)：10mm, 1um分辨率

顯微鏡：高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, 放大倍數(shù)范圍3.5X~180X

電學接頭：BNC, Triax, RF, Banana插頭

安裝要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動XY升級位移臺）