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這款磁探針臺(tái)可提供三維磁場(chǎng)控制,滿足磁性控制RF探針測(cè)試應(yīng)用.作為磁場(chǎng)探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)了平面磁場(chǎng)的任意操控,方便自旋電子器件探針測(cè)試.
磁探針臺(tái)特點(diǎn)

提供使用磁場(chǎng)的任意三維方向的探針臺(tái)，適合用于自旋電子學(xué)研究應(yīng)用

提供在除了垂直磁場(chǎng)方向上的晶圓探測(cè)，適合在生產(chǎn)中的自旋電子學(xué)設(shè)備測(cè)試。

*可定制的基于LABView的控制軟件可易與普遍的測(cè)試和測(cè)量設(shè)備結(jié)合使用

用于微米水平探針定位的有效的具有80TPI螺桿的高分辨率微位置

具有大范圍的輸出格式和可用設(shè)置的數(shù)據(jù)收集和/或分析

系統(tǒng)配有3個(gè)霍爾探頭和資料解析以提高磁場(chǎng)穩(wěn)定性和精度

磁探針臺(tái)規(guī)格參數(shù)

適合晶圓尺寸：100mm, 150mm, 200mm

磁場(chǎng)方向：任意3D

最大磁場(chǎng)：0.6T

磁場(chǎng)方向精度：+/-0.1度

磁場(chǎng)不均勻性：+/-2% @10mm直徑區(qū)域

磁場(chǎng)穩(wěn)定性：0.1%

晶圓XY定位分辨率：3um

Z軸行程： 12.5mm