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高溫真空氣氛爐除了做實(shí)驗(yàn)外，不要停留在高溫爐管區(qū)。實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí)，若無(wú)人繼續(xù)使用，請(qǐng)關(guān)特殊氣體，保留N2流動(dòng)， 爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關(guān)而沒(méi)有關(guān)，如：cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它，請(qǐng)隨手關(guān)掉。
1、高溫真空氣氛爐處理HF時(shí)，請(qǐng)戴手套，如不小心碰到HF時(shí)，請(qǐng)立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處。
2、石英玻璃制品請(qǐng)小心使用，以免破裂，引起嚴(yán)重割傷。
3、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
4、氰化鉀（KCN）不可與酸類(lèi)混置，因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。
5、一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時(shí)，請(qǐng)立即通知有關(guān)人員（技術(shù)員等）。
6、高溫真空氣氛爐請(qǐng)節(jié)約純水用量。
7、破晶片、濾紙、棉花棒等，請(qǐng)勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。
8、長(zhǎng)短推桿之前端，在還沒(méi)使用到時(shí)，請(qǐng)朝上以免污染。
9、晶片進(jìn)出爐口時(shí)，承接boat的holder，請(qǐng)勿碰觸爐管口，以免污染爐管。