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表面電阻測試儀注意事項及測試原理
表面電阻測試儀注意事項及測試原理
表面電阻測試儀注意事項:
1,壓下探頭時,壓力要適中,以免損壞探針;
2,由于樣品表面電阻可能分布不均,測量時應對一個樣品多測幾個點,然后取平均值;
3,樣品的實際電阻率還與其厚度有關還需查附錄中的厚度修正系數進行修正。
表面電阻測試儀測試原理:
當四根金屬探針排成一條直線,并以一定壓力壓在半導體材料上時,在1,4兩根探針間通過電流I,則2,3探針間產生電位差V(如圖所示).根據公式可計算出材料的電阻率:其中,C為四探針的探針系數(cm),它的大小取決于四根探針的排列方法和針距.
二,儀器操作:(一)測試前的準備:
1,將電源插頭插入儀器背面的電源插座,電源開關置于斷開位置;
2,工作方式開關置于"短路"位置,電流開關處于彈出位置;
3,將手動測試架的屏蔽線插頭與電氣箱的輸入插座連接好;
4,對測試樣品進行一定的處理(如噴沙,清潔等);
5,調節(jié)室內溫度及濕度使之達到測試要求.
(二)測試:首先將電源開關置于開啟位置,測量選擇開關置于"短路",出現數字顯示,通電預熱半小時.
1,放好樣品,壓下探頭,將測量選擇開關置于"測量"位置,極性開關置于開關上;
2,選擇適當的電壓量程和電流量程,數字顯示基本為"0000",若末位有數字,可旋轉調零調節(jié)旋鈕使之顯示為"0000";
3,將工作方式開關置于"I調節(jié)",按下電流開關,旋動電流調節(jié)旋鈕,使數字顯示為"1000",該值為各電流量程的滿量程值;
4,再將極性開關壓下使數顯也為1000±1,退出電流開關,將工作方式開關置于1或6.28處(探頭間距為1.59mm時置于1位置,間距為1mm時置于6.28位置); (調節(jié)電流后,上述步驟在以后的測量中可不必重復;只要調節(jié)好后,按下電流 開關,可由數顯直接讀出測量值.)
5,若數顯熄滅,僅剩"1",表示超出該量程電壓值,可將電壓量程開關撥到更;
6,讀數后,將極性開關撥至另一方,可讀出負極性時的測量值,將兩次測量值取平均數即為樣品在該處的電阻率值.