EVG光刻機(jī)

掩模對準(zhǔn)曝光機(jī) 光刻膠處理系統(tǒng)

EVG鍵合機(jī)

對準(zhǔn)設(shè)備 晶圓鍵合機(jī) 直接鍵合設(shè)備 臨時(shí)鍵合/解鍵合 金屬鍵合設(shè)備

晶圓關(guān)鍵尺寸測量

EVG納米壓印機(jī)

UV-NIL/SmartNIL紫外壓印 納米壓印母版制作系統(tǒng)

膜厚儀

Thetametrisis膜厚儀 光學(xué)相干斷層掃描 全自動(dòng)同質(zhì)膜厚測量系統(tǒng) 硬化涂層膜厚儀 Filmetrics膜厚儀

防震臺(tái)

Herz TDI氣浮式被動(dòng)防震臺(tái) Herz AVI系列主動(dòng)防震臺(tái) Herz 電鏡隔振臺(tái) DAEIL DVIA-T主動(dòng)防振臺(tái) Stefan Mayer主動(dòng)消磁系統(tǒng)

晶圓厚度測量

硅片厚度測量儀 半自動(dòng)晶圓厚度測量

應(yīng)力測量

FSM應(yīng)力儀 ilis應(yīng)力儀

3D形貌儀/白光干涉輪廓儀

白光干涉儀 彩色共聚焦輪廓儀 Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀 白光干涉+共聚焦一體機(jī) 晶圓形貌和參數(shù)檢測

光學(xué)鏡頭對準(zhǔn)系統(tǒng)(定心儀)

片電阻測量儀

薄膜電阻測量儀

晶圓缺陷檢測

全自動(dòng)AOI系統(tǒng) 雙2D AOI系統(tǒng) LAZIN

等離子去膠

微波等離子清洗

橢偏儀

FilmSense 橢偏儀

臺(tái)階儀

4D 動(dòng)態(tài)激光干涉儀

PhaseCam 6010 PhaseCam 4030

光學(xué)粗糙度測試儀

電容式位移傳感器

Microsense 位移傳感器

磁性材料檢測設(shè)備

全自動(dòng)測量機(jī)臺(tái)

微納樣品制備加工

等離子體刻蝕與沉積設(shè)備

其他品牌

EVG

ThetaMetrisis

LAZIN

FSM

4D

DELCOM

MicroSense

RTEC

DAEIL