Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位移臺(tái)MAX603DPX 5220
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ZR100系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
ZR100系列定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是Z/Theta兩軸一體式精密定位平臺(tái),Z軸利用VC60-5系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)
VC60-5系列電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)是納米級(jí)定位精度的托舉運(yùn)動(dòng)升降平臺(tái),直SurfaceZ系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)
SurfaceZ系列電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)是納米級(jí)定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)Z向平臺(tái),