99超碰中文字幕在线观看-天天干天天日天天舔婷婷-我看操逼的好看的女人的-日本一二三四五区日韩精品

官方微信|手機(jī)版

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購(gòu)企業(yè)資訊會(huì)展

發(fā)布詢(xún)價(jià)單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>測(cè)量/計(jì)量?jī)x器>天平衡器>其它稱(chēng)量設(shè)備>Savannah-100,Savannah-200 原子層沉積(ALD)

Savannah-100,Savannah-200 原子層沉積(ALD)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 東方銳進(jìn)(香港)有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) Savannah-100,Savannah-200
  • 產(chǎn)地 美國(guó)
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間 2017/7/4 21:45:10
  • 訪問(wèn)次數(shù) 2395
產(chǎn)品標(biāo)簽

原子層沉積原子層外延ALD

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


東方銳進(jìn)(香港)有限公司是一家專(zhuān)門(mén)從事納米科技、材料分析、生物安全儀器設(shè)備銷(xiāo)售、服務(wù)及技術(shù)咨詢(xún)的高科技公司。我們*代理了多家*水平的分析儀器,產(chǎn)品包括:
 法國(guó)GBX公司的接觸角分析儀(Contact Angle Meter)、表面張力儀(Tension Meter)、水活度儀(Water Activity Meter)、高溫粘度計(jì)(HT Viscometer)等;
芬蘭Kibron公司的LB膜分析儀、微張力儀、高通量微張力儀、便攜式全自動(dòng)表面張力儀等;
 以色列Nanonics成像有限公司的近場(chǎng)光學(xué)掃描顯微鏡(NSOM)、同時(shí)在線AFM-微Raman光譜聯(lián)用、原子力顯微鏡(AFM)、超高真空超低溫掃描探針顯微鏡、AFM-SEM聯(lián)用等;
 瑞士LSI公司的3D DLS動(dòng)靜態(tài)光散射儀;
美國(guó)DT公司的膠體顆粒度及zeta電位儀;
美國(guó)劍橋納米有限公司的原子層沉積系統(tǒng);
 韓國(guó)Ecopia公司的霍爾效應(yīng)測(cè)試儀(Hall Effect Measurement System)、四點(diǎn)探針/探針臺(tái)(Probe Station)、LED測(cè)試儀(LED tester)、快速退火爐;
南非DDS公司的Cal2k煤炭工業(yè)氧彈量熱計(jì)(Calorimeter, Coal Industry)、Cal2k ECO實(shí)驗(yàn)室用氧彈量熱計(jì)(Calorimeter);
德國(guó)Rhoetec公司實(shí)驗(yàn)室旋轉(zhuǎn)粘度計(jì)、落球式粘度計(jì),在線旋轉(zhuǎn)粘度計(jì)、毛細(xì)管粘度計(jì),流變儀等;
 新加坡ESCO公司的生物安全柜、超凈工作臺(tái);

接觸角測(cè)量?jī)x;表面張力儀;LB膜分析儀;微張力儀;高通量微張力儀;便攜式全自動(dòng)表面張力儀;水活度儀;近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡;原子力顯微鏡;實(shí)驗(yàn)室粘度計(jì);在線粘度計(jì);高溫粘度計(jì);高溫表面張力儀;流變儀;霍爾效應(yīng)測(cè)試儀;探針臺(tái);LED測(cè)試儀;快速熱退火爐;原子層沉積(ALD);氧彈量熱計(jì);動(dòng)靜態(tài)光散射儀;顆粒度及zeta電位儀;原位微區(qū)熱分析儀;〈br〉

     原子層沉積(Atomic Layer Deposition,ALD),zui初稱(chēng)為原子層外延(Atomic Layer Epitaxy,ALE),也稱(chēng)為原子層化學(xué)氣相沉積(Atomic Layer Chemical Vapor Deposition,ALCVD)。原子層沉積是在一個(gè)加熱反應(yīng)器中的襯底上連續(xù)引入至少兩種氣相前驅(qū)體物種,化學(xué)吸附的過(guò)程直至表面飽和時(shí)就自動(dòng)終止,適當(dāng)?shù)倪^(guò)程溫度阻礙了分子在表面的物理吸附。一個(gè)基本的原子層沉積循環(huán)包括四個(gè)步驟:脈沖A,清洗A,脈沖B和清洗B。沉積循環(huán)不斷重復(fù)直至獲得所需的薄膜厚度,是制作納米結(jié)構(gòu)從而形成納米器件的工具。ALD的優(yōu)點(diǎn)包括:
  1.        可以通過(guò)控制反應(yīng)周期數(shù)簡(jiǎn)單精確地控制薄膜的厚度,形成達(dá)到原子層厚度精度的薄膜
  2.        不需要控制反應(yīng)物流量的均一性
  3.        前驅(qū)體是飽和化學(xué)吸附,保證生成大面積均勻性的薄膜
  4.        可生成*的三維保形性化學(xué)計(jì)量薄膜,作為臺(tái)階覆蓋和納米孔材料的涂層
  5.        可以沉積多組份納米薄層和混合氧化物
  6.        薄膜生長(zhǎng)可在低溫(室溫到400oC)下進(jìn)行
  7.        可廣泛適用于各種形狀的襯底。原子層沉積生長(zhǎng)的金屬氧化物薄膜用于柵極電介質(zhì)、電致發(fā)光顯示器絕緣體、電容器電介質(zhì)和MEMS器件,而生長(zhǎng)的金屬氮化物薄膜適合于擴(kuò)散勢(shì)壘。
  
   目前可以沉積的材料包括:
   氧化物: Al2O3, TiO2, Ta2O5, Nb2O5, ZrO2, HfO2, SnO2, ZnO, La2O3, Y2O3, CeO2, Sc2O3, Er2O3, V2O5, SiO2, In2O3,...
   氮化物: AlN, TaNx, NbN, TiN, MoN, ZrN, HfN, GaN, ...
   氟化物: CaF2, SrF2, ZnF2, ...
   金屬: Pt, Ru, Ir, Pd, Cu, Fe, Co, Ni, ...
   碳化物: TiC, NbC, TaC, ...
   復(fù)合結(jié)構(gòu): AlTiNx, AlTiOx, AlHfOx, SiO2:Al, HfSiOx, ...
   硫化物: ZnS, SrS, CaS, PbS, ...
   納米薄層: HfO2/Ta2O5, TiO2/Ta2O5, TiO2/Al2O3, ZnS/Al2O3, ATO (AlTiO) ...
  
  ALD的應(yīng)用包括:
  半導(dǎo)體領(lǐng)域:晶體管柵極電介質(zhì)層(高k材料),光電元件的涂層,晶體管中的擴(kuò)散勢(shì)壘層和互聯(lián)勢(shì)壘層(阻止摻雜劑的遷移),有機(jī)發(fā)光顯示器的反濕涂層和薄膜電致發(fā)光(TFEL)元件,集成電路中的互連種子層,DRAM和MRAM中的電介質(zhì)層,集成電路中嵌入電容器的電介質(zhì)層,電磁記錄頭的涂層,集成電路中金屬-絕緣層-金屬(MIM)電容器涂層。
  納米技術(shù)領(lǐng)域:中空納米管,隧道勢(shì)壘層,光電電池性能的提高,納米孔道尺寸的控制,高高寬比納米圖形,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的反靜態(tài)阻力涂層和憎水涂層的種子層,納米晶體,ZnSe涂層,納米結(jié)構(gòu),中空納米碗,存儲(chǔ)硅量子點(diǎn)涂層,納米顆粒的涂層,納米孔內(nèi)部的涂層,納米線的涂層。



化工儀器網(wǎng)

采購(gòu)商登錄
記住賬號(hào)    找回密碼
沒(méi)有賬號(hào)?免費(fèi)注冊(cè)

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個(gè)人信息:

溫馨提示

該企業(yè)已關(guān)閉在線交流功能

屏边| 抚州市| 尼木县| 古丈县| 阳泉市| 衢州市| 精河县| 泸定县| 赤峰市| 布拖县| 塘沽区| 抚松县| 民权县| 同仁县| 游戏| 乐都县| 莆田市| 龙口市| 镇坪县| 盈江县| 平塘县| 马龙县| 潜江市| 醴陵市| 塔河县| 长岛县| 永清县| 股票| 聂拉木县| 兴仁县| 驻马店市| 峡江县| 荃湾区| 分宜县| 庆阳市| 溆浦县| 疏附县| 巴彦县| 济源市| 理塘县| 称多县|