質(zhì)量流量控制儀報(bào)價(jià)質(zhì)量流量控制儀報(bào)價(jià) 型號(hào):D07-26C庫號(hào)：M410142   

流量控制器型號(hào)：D07-26C卡套連接用途和特點(diǎn)

質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行測(cè)量；質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)境和真空等多種行業(yè)的科研和中有著重要的應(yīng)用。其應(yīng)用場(chǎng)合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

D07 系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下工作), 其操作使用方便,可任*意位置安裝, 并便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。D07 系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)一般與 D08 系列流量顯示儀等產(chǎn)品配套使用,

控制器與顯示儀之間用配套用電纜連接。

主要技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)：D07-26C

流量規(guī)格：(20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~1,2,3,5,10) SLM

準(zhǔn)確度：±1.5 % F.S.

線性：±1% F.S.

重復(fù)精度：±0.2 % F.S.

響應(yīng)時(shí)間：≤10 sec

工作壓差范圍：0.1~0.5 MPa

耐壓：3 MPa

溫度系數(shù)：Zero: ≤±0.2% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;

工作環(huán)境溫度：5 ℃~45 ℃

輸入信號(hào)：0 V~+5.00 V

輸出信號(hào)：0 V~+5.00 V

電插頭形式：DB15 pin（Female）

電源：+15 V 50 mA

-15V 200 mA

重量：1.1 kg

注意:

質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為 : SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分);

SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為 : 溫度 --- 273.15K ( 0 ℃ );

氣壓 — 101325 Pa (760mm Hg)

在流量計(jì)MFC/MFM 產(chǎn)品，單位SCCM和“ mL/min, 0 ℃ ,1atm” 等同，單位SLM和“L/min, 0 ℃ ,1atm” 等同。

F.S ． (Full Scale): 滿量程值