▍產(chǎn)品簡介

藝微勝CDS-6C 全柜式涂膠加熱顯影系統(tǒng)是一款為高校研究所及實(shí)驗(yàn)室量身定制的高效精密設(shè)備。該設(shè)備集勻膠、烤膠、顯影功能于一體，采用不銹鋼或PP外殼設(shè)計(jì)，確保無塵環(huán)境且不吸附顆粒。每個(gè)模塊可獨(dú)立工作，設(shè)備配有7英寸觸控操作界面，支持FFU、上排風(fēng)接口及重力排廢接口等，簡化了操作流程，提升了實(shí)驗(yàn)效率。無論是精密控溫還是藥液分配，本設(shè)備都能滿足嚴(yán)苛的實(shí)驗(yàn)需求。

▍技術(shù)特點(diǎn)

1.高精度涂膠與烤膠控制

涂膠模塊轉(zhuǎn)速20-5000 R.P.M，精度±1 rpm，烤膠模塊控溫精度±0.2℃，確保工藝穩(wěn)定。

2. 智能PLC控制系統(tǒng)

支持50組配方、20步操作，具備程序存儲與密碼保護(hù)，簡化操作與數(shù)據(jù)管理。

3.模塊化設(shè)計(jì)與獨(dú)立操作

勻膠、烤膠、顯影模塊可獨(dú)立工作，提升靈活性與效率。

4. 精準(zhǔn)藥液分配與清洗功能

PLC控制分配臂，轉(zhuǎn)速±1 R.P.M，配備去離子水清洗噴嘴，確保精細(xì)處理。

5.優(yōu)化設(shè)計(jì)，簡化操作
7英寸觸摸屏，簡便直觀，快速設(shè)定與操作，兼容多種吸盤規(guī)格。

▍技術(shù)參數(shù)

▍典型應(yīng)用

此涂膠顯影系統(tǒng)一體機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、太陽能電池及精密制造領(lǐng)域，特別適用于高校研究所及實(shí)驗(yàn)室中的樣品處理和實(shí)驗(yàn)研發(fā)。其高精度的控制系統(tǒng)和多功能模塊，能有效提升研發(fā)效率和工藝精度，特別適合用于涂膠、烤膠、顯影等精細(xì)化學(xué)處理工藝。