化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>行業(yè)專用儀器及設(shè)備>機(jī)床行業(yè)專用設(shè)備>其它機(jī)床設(shè)備>HZZ-V3000 石英微流控芯片激光雕刻機(jī)
HZZ-V3000 石英微流控芯片激光雕刻機(jī)
- 公司名稱 廣州華之尊光電科技有限公司
- 品牌 華之尊
- 型號(hào) HZZ-V3000
- 產(chǎn)地 廣州市黃埔區(qū)科學(xué)城玉樹創(chuàng)新園棟C1棟601
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/8/18 11:44:02
- 訪問次數(shù) 12
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
突破硬質(zhì)材料極限:石英微流控芯片激光雕刻機(jī)實(shí)現(xiàn)石英微流控芯片精密制造
在單細(xì)胞分析、高通量PCR等領(lǐng)域,石英玻璃微流控芯片因其超高透光性、耐高溫和化學(xué)惰性成為,但傳統(tǒng)光刻蝕工藝成本高、周期長。我司工業(yè)級(jí)激光雕刻切割機(jī),專為石英(SiO?)微流控芯片開發(fā),通過脈沖能量精密控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)微通道的無錐度、無微裂紋雕刻,助力生物醫(yī)藥企業(yè)攻克硬質(zhì)材料加工瓶頸。
石英加工核心技術(shù)突破
1. 零崩邊精細(xì)雕刻
采用150W高功率CO2激光配合多級(jí)脈沖調(diào)制,瞬間氣化石英表層(吸收峰值10.6μm),熱影響區(qū)<15μm。通道側(cè)壁垂直度達(dá)88°±1°,表面粗糙度Ra<0.5μm,消除流體殘留風(fēng)險(xiǎn),滿足細(xì)胞級(jí)實(shí)驗(yàn)環(huán)境要求。
2. 深寬比動(dòng)態(tài)優(yōu)化
實(shí)現(xiàn)0.1-2mm厚度石英的無錐度穿透雕刻:
微通道寬深比1:10(最小線寬30μm)
切割崩邊尺寸<5μm,強(qiáng)度損失率<3%
適配微混合器、電泳分離芯片等復(fù)雜結(jié)構(gòu)
3. 全流程無污染加工
非接觸式加工避免切削液污染,集成氮?dú)廨o助吹掃系統(tǒng),防止熔融石英重凝。加工后透光率衰減<2%(@350nm紫外波段),保障熒光檢測精度。
傳統(tǒng)工藝價(jià)值
? 效率飛躍:單芯片加工時(shí)間縮短至8分鐘(較光刻工藝提速90%)
? 成本直降70%:無需掩模版、真空鍍膜及氫氟酸蝕刻
? 良率突破:芯片功能合格率>99%(ISO 13485醫(yī)療器械標(biāo)準(zhǔn))
智能閉環(huán)生產(chǎn)系統(tǒng)
紅外熱像儀實(shí)時(shí)監(jiān)控加工溫度,智能調(diào)節(jié)脈沖頻率防熱裂
全密封艙體配備負(fù)壓除塵+HEPA過濾,捕獲納米級(jí)硅粉塵(符合OSHA Class II標(biāo)準(zhǔn))
高精度CCD視覺定位+自動(dòng)對(duì)焦,重復(fù)定位精度高
賦能微流控應(yīng)用
從基因測序芯片、器官芯片透明基底,到微反應(yīng)器光學(xué)窗口,本設(shè)備提供“設(shè)計(jì)-雕刻-切割-封接”全鏈條解決方案。通過模塊化擴(kuò)展,兼容硼硅玻璃、藍(lán)寶石等硬脆材料加工。
讓石英微流控芯片制造更高效、更可靠!