CFTCA系列機械直線臺介紹：

地心科技CFTCA系列 直線電機機械臺-XY是納米級定位精度的XY一體式精密定位平臺，直線電機驅(qū)動，采用精密交叉滾柱導軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截至頻率可達100Hz以上。CFTCA系列采用杰出的工業(yè)化設計，外觀設計及幾何尺寸非常合理，CFTCA-150XY全行程平面度和直線度小于±2μm，安全中空尺寸可達40mm*40mm；CFTCA-250XY全行程平面度和直線度小于±4μm，安全中空尺寸可達50mm*50mm是光學測量檢測領(lǐng)域的關(guān)鍵部件。

CFTCA系列平臺結(jié)構(gòu)精致緊湊，但是有較強的驅(qū)動能力，上軸速度1000mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，帶隔振實驗室環(huán)境下，CFTCA系列中空平臺的在位穩(wěn)定性3nm，最小步進量可以小于5nm，由于其中空特性，它主要應用在雙面測量檢測、生物樣片加工和觀測、薄膜和油墨厚度測量等需要納米級定位精度和中空設計的工業(yè)領(lǐng)域與科研項目。

CFTCA系列平臺在位穩(wěn)定性和最小步進測試

CFTCA系列機械直線臺備注：

(1)經(jīng)過定制2D校準后，正交性可達到 5 arc sec；

(2)適配-AS反饋，配置線性放大器；

(3)空載，需配置相應功率的放大器；

(4)默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統(tǒng)的性能指標與實際載荷和工作點位置有關(guān)；

(5)其他行程可定制（例如：行程350mm*350mm）。