位移臺(tái)是Z/Theta 兩軸一體式精密定位平臺(tái)，Z軸利用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用雙氣缸配重，可以根據(jù)負(fù)載重量靈活調(diào)整氣壓。Z軸選用精密交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的性能和定位精度，空載截止頻率最大可達(dá)100Hz以上，具備很好的速度穩(wěn)定性。Theta軸采用旋轉(zhuǎn)直驅(qū)電機(jī)，配備圓形導(dǎo)軌和光柵，兼具高轉(zhuǎn)速和高精度。此外，Theta軸采用下沉隱藏式設(shè)計(jì)，使得ZR100整體高度較低，工作點(diǎn)的下降有利于保證實(shí)際應(yīng)用中的精度指標(biāo)。

位移臺(tái)是一款兼具點(diǎn)到點(diǎn)的靜態(tài)定位精度，同時(shí)具備非常突出的動(dòng)態(tài)精度，可以適應(yīng)對(duì)動(dòng)態(tài)跟隨誤差要求嚴(yán)格的生物檢測或者晶圓檢測掃描應(yīng)用。Theta軸采用32mm中空設(shè)計(jì)，可以用于白光共焦傳感器通過中空進(jìn)行雙面檢測應(yīng)用，Z軸可以根據(jù)傳感器聚焦高度實(shí)時(shí)高速調(diào)整，全面解決客戶的運(yùn)動(dòng)控制難題。

ZR100平臺(tái)最小步進(jìn)測試

5nm最小步進(jìn)（ASH反饋選項(xiàng)，配置線性放大器）

0.000027°（0.1角秒）最小步進(jìn)測試（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，配置線性放大器）

備注

（1）空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

（2）適配-AS反饋，線性放大器；

（3）默認(rèn)測試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

（4）氣缸供氣需配置空濾三聯(lián)件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮?dú)?。氣壓根?jù)平臺(tái)實(shí)際負(fù)載重量可調(diào)；

（5）Theta軸連續(xù)旋轉(zhuǎn)氣滑環(huán)配置可定制。