100 AMU SPS 英??礗NFICON 質(zhì)譜儀 Transpector® SPS
參考價 | ¥ 26433 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 山金工業(yè)(深圳)有限公司
- 品牌 INFICON/美國
- 型號 100 AMU SPS
- 產(chǎn)地 日本大阪
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/8/6 22:55:58
- 訪問次數(shù) 350
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測量范圍 | 0.125 ms - 60 s/amu | 測試精度 | 3E-4 A/mbar |
---|---|---|---|
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 分辨率 | 1 E-5 mbar |
價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 多樣 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合 | 質(zhì)量范圍 | 1-512 amudalton |
質(zhì)量范圍 | 1-512 amu | 桿材料 | 鉬 |
最大工作壓力 (EM) 最大工作壓力 (EM) | 1 E-5 mbar | 軸離子源 | 3E-4 A/mbar |
橫束離子源 | 7E-5 A/mbar | 交叉光束氣密離子源 | 7E-5 A/mbar |
帶磁鐵的橫束離子源 | 7E-4 A/mbar | 帶磁鐵的交叉光束氣密離子源 | 7E-4 A/mbar |
網(wǎng)格離子源 | 2E-4 A/mbar | 分辨率(可調(diào)) | 0.3 - 7 amu |
最小可檢測部分壓力 | 1 E-15 mbar | 帶電子倍增器的分壓比 | < 0.5 ppb |
最高工作溫度 工作溫度(傳感器和電子元件) | 150 °C | 測量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
英??礗NFICON 質(zhì)譜儀 Transpector® SPS
英??礗NFICON 質(zhì)譜儀 Transpector® SPS
Transpector® SPS
質(zhì)譜儀Transpector® SPS
INFICON Transpector® 單壓取樣 (SPS) 殘余氣體分析儀為目標(biāo)高壓過程提供最佳半導(dǎo)體晶圓和顯示屏面板保護(hù)。憑借適合單壓應(yīng)用的最敏感空氣泄漏和過程污染檢測,Transpector SPS 可 減少晶圓和面板報廢。它具有 的檢測限值和測量速度,確保晶圓和面板產(chǎn)品的質(zhì)量和數(shù)量。Transpector SPS 提供 的過程監(jiān)控,確保實現(xiàn)穩(wěn)定的高壓過程,進(jìn)而 提高過程能力和產(chǎn)量。該儀器融合了簡單且高成本效益的入口系統(tǒng)與經(jīng)實踐驗證的離子源和泵組,以提供低風(fēng)險、 的氣體分析解決方案。Transpector SPS 是一種經(jīng)過驗證的解決方案,適用于真空電弧重熔 (VAR) 等冶金和熱處理應(yīng)用,且是一般真空和工業(yè)應(yīng)用的理想之選。Transpector SPS 可根據(jù)具體應(yīng)用和預(yù)算進(jìn)行配置和定制。 針對從 1E-4 Torr 到大氣的取樣過程壓強,均可選用標(biāo)準(zhǔn)孔板、劈刀和旁路線組合。耐腐蝕入口、離子源和泵組的設(shè)計可確保在蝕刻、CVD、ALD 和其他腐蝕性氣體過程中的耐受性。
好處
得益于單壓取樣入口, 降低晶圓和面板保護(hù)的總擁有成本;是擴散、外延和 RTP 等高壓 過程的理想之選
提供 漏氣量和污染監(jiān)測,確保恒定高壓過程
通過 強大數(shù)據(jù)采集與同步實現(xiàn)無縫工廠集成和可靠阻斷
通過定制 配方優(yōu)化增強 生產(chǎn)能力
通過即時現(xiàn)場專家響應(yīng)保護(hù)關(guān)鍵過程需求
典型應(yīng)用
PVD processesPVD 過程
擴散和外延過程
蝕刻過程包括:金屬、電介質(zhì)、硅刻蝕, HDP-etch
CVD 過程包括:高 k 電介質(zhì)、HDP-CVD、LP-CVD、SA-CVD、CVD 低 k、PE-CVD
技術(shù)規(guī)格
100 AMU SPS
200 AMU SPS
300 AMU SPS
總壓力范圍 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar)
檢測限值 <1 ppm
系統(tǒng)工作壓力(帶孔板/劈刀) 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres
靈敏度(@ 低發(fā)射、FC 模式) >4.0E-6 amps/Torr (>3E-6 amps/mbar)
靈敏度(@ 高發(fā)射、FC 模式) >2.0E-5 amps/Torr (>1.5E-5 amps/mbar)
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該產(chǎn)品被用于以下市場
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