D07-19 熱式模擬氣體質(zhì)量流量控制器
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/8/1 8:19:19
- 訪問次數(shù) 72
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創(chuàng)新點
數(shù)字內(nèi)核電路板
數(shù)字內(nèi)核計算，實現(xiàn)更好的控制調(diào)節(jié)，并實時交互數(shù)據(jù)。
恒功率傳感器
采用了一種新型恒功率式傳感器技術，大幅提高系統(tǒng)測量準確性及響應速度。
數(shù)字傳感器補償技術
采用數(shù)字式傳感器電橋平衡方法補償傳感器驅(qū)動電壓，抑制溫度漂移。
VCP的閥控技術
閥控技術采用多項新成果，統(tǒng)稱VCP技術，該結構閥內(nèi)部氣體死區(qū)空間少，閥響應速度快，無磁滯現(xiàn)象。采用VCP技術可有效提高氣體質(zhì)量流量控制器控流穩(wěn)定性。
應用領域
特種工業(yè)—石油化工
特種工業(yè)—光纖
特種工業(yè)—真空鍍膜
特種工業(yè)—熱處理
生命科學—環(huán)境保護
生命科學—食品工業(yè)
生命科學—生物工程
生命科學—醫(yī)療健康
生命科學—分析儀器
科學研究—實驗器材
技術指標
| 型號 | D07-19B | D07-19J | D07-19JM |
| 流量規(guī)格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||
| ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | ||
| 流量控制范圍 | 2~99% of F.S. | ||
| 準確度 | ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±1 % F.S. | |
| 線性 | ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±0.5 % F.S. | |
| 重復精度 | ±0.2 % F.S. | ||
| 響應時間 | ≤2 sec | ||
| 工作壓差范圍 | ≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa ＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa | 0.1 ~ 0.4 MPa (≤10SLM) 0.1 ~ 0.3 Mpa(10SLM＜F.S.≤30SLM) 0.25~ 0.45 MPa (＞30SLM) | <0.02 MPa (2.9 psid) |
| 工作壓力 | 1 MPa (145psig) | ||
| 耐壓 | 3 MPa (435.1 psig) | 3 MPa (435.1 psig) | |
| 漏率 | 1×10-9Pa·m3/sec He | ||
| 溫度系數(shù) | Zero: ≤±0.05% F.S./℃; Span: ≤±0.1% F.S./℃; | ||
| 工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | ||
| 輸入信號 | 0 V ~ +5.00 V （輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | 4-20mA或0 ~ 5V或1 ~ 5V | |
| 輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | 4-20mA或0 ~ 5V或1 ~ 5V | |
| 電源 | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | 24VDC 400 mA；+15V 50mA , - 15V 200mA | |
| 重量 | 0.95 kg | 1.2kg | 1.0 kg |
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