化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>實(shí)驗(yàn)室用反應(yīng)設(shè)備>反應(yīng)器> EPC100 反應(yīng)腔室壓力控制器
EPC100 反應(yīng)腔室壓力控制器
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 16:48:06
- 訪問(wèn)次數(shù) 89
聯(lián)系方式：趙倩男18610520676 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
創(chuàng)新點(diǎn)
基于機(jī)械氣浮活塞的多力平衡技術(shù)
帶有軟遲滯補(bǔ)償?shù)碾姍C(jī)變頻控制技術(shù)
氮?dú)夥礇_防腐蝕設(shè)計(jì)技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體/集成電路
半導(dǎo)體/封裝
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
清潔能源/光伏
科學(xué)研究/實(shí)驗(yàn)器材
技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | EPC100 |
| 接觸氣體材料 | 聚四氟乙烯(PTFE) |
| 壓力類型 | 相對(duì)壓力 |
| 控制壓力范圍 | -3 ~ -23mmH2O、-3 ~ -50mmH2O |
| 進(jìn)氣流量范圍 | 0.3 ~ 50SLM |
| 安裝方式 | 水平安裝、垂直安裝 |
| 壓力控制精度 | 干氧工藝：S.P.±1mmH2O |
| 濕氧工藝：S.P.±2mmH2O | |
| 控制信號(hào) | 0~5V |
| 壓力檢測(cè)口 | φ6塔型接頭 |
| Drain 接口 | 1/4 NPT內(nèi)螺紋 |
| N2接口 | 1/4 卡套（40 psig ~80psig） |
| 機(jī)械進(jìn)出氣接口 | 1" female NPT |
| 供電電源 | ±15V |
| 電氣接口 | 控壓閥：DB-15針 |
| 控制盒：Conxall-10孔、DB-15孔、DB-9針 |
注意：
氣體壓力控制器出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定
氣體壓力的單位規(guī)定為：Torr(托)；mbar(毫巴) ；mmH2O (毫米水柱)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度--273.15K（0℃ )；氣壓--101325 Pa（760mm Hg）
在華丞電子 PC 產(chǎn)品中，單位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，單位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同
F.S.(Full Scale)：滿量程值； S.P.(Set Point)：設(shè)定點(diǎn)值
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
相關(guān)技術(shù)文章
- 平行生物反應(yīng)器優(yōu)勢(shì)分析
- 內(nèi)循環(huán)無(wú)梯度反應(yīng)器的設(shè)計(jì)與結(jié)構(gòu)
- 化學(xué)合成反應(yīng)器其擁有怎樣的特點(diǎn)
- 高壓加氫反應(yīng)釜操作全指南：催化
- 酶膜反應(yīng)器的 “長(zhǎng)壽” 秘訣：維
- 均相反應(yīng)器的結(jié)構(gòu)組成及產(chǎn)品特點(diǎn)
- 高溫油槽：溫度精準(zhǔn)控制的理想之
- LED燈光氯化反應(yīng)設(shè)備
- 紫外單孔光反應(yīng)儀的產(chǎn)品特點(diǎn)及優(yōu)
- 連續(xù)光催化反應(yīng)儀選型指南
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)