化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)>CY-SPC4-SS-JH 凈化型4寸勻膠機(jī)旋涂?jī)x
CY-SPC4-SS-JH 凈化型4寸勻膠機(jī)旋涂?jī)x
參考價(jià) | ¥ 69500 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱(chēng) 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號(hào) CY-SPC4-SS-JH
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/8/7 11:02:22
- 訪問(wèn)次數(shù) 79
勻膠機(jī)納米材料旋涂?jī)x實(shí)驗(yàn)室勻膠機(jī)科研用旋涂?jī)x半導(dǎo)體旋涂?jī)x
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機(jī)旋涂?jī)x,熔煉爐,涂布機(jī),放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機(jī),金剛石線切割機(jī),RTP退火爐,晶體生長(zhǎng)爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機(jī),
凈化型4寸勻膠機(jī)旋涂?jī)x特點(diǎn):
1、帶有100級(jí)空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺(tái)周?chē)諝庵械奈廴疚m,防止
勻膠過(guò)程中的雜質(zhì)污染。
2、 設(shè)置有LED照明燈,可程控照明,非常方便日常操作。
3、可設(shè)置時(shí)間--轉(zhuǎn)速曲線,程序控制勻膠工藝
4、7英寸液晶顯示屏,操作簡(jiǎn)單易學(xué)無(wú)需專(zhuān)業(yè)學(xué)習(xí)
5、采用無(wú)刷伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
6、機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹,便于清洗。
7、排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
8、透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)隔絕光阻的溢出有效
隔絕有毒氣味的散發(fā)。
9、前面板設(shè)置有電動(dòng)玻璃屏升降按鈕,可電動(dòng)升降前擋玻璃板。
凈化型4寸勻膠機(jī)旋涂?jī)x主要技術(shù)參數(shù):
勻膠時(shí)間 | 1-99秒 |
勻膠轉(zhuǎn)數(shù) | 0-8000轉(zhuǎn)/分 |
操作區(qū)風(fēng)速 | 0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài):垂直層流()適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 |
凈化效果 | 100級(jí)(美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)) |
外形尺寸 | 650x750x1620mm |
外體顏色 | 亞白色 |
控制范圍和精度 | 轉(zhuǎn)速控制范圍為:500-8000轉(zhuǎn),精度為±3% |
時(shí)間控制范圍為 | 1-99秒,精度為±5% |
轉(zhuǎn)速調(diào)整 | 采用PID調(diào)節(jié),精度高 |
轉(zhuǎn)速查看智能化 | 可自動(dòng)識(shí)別哪個(gè)電機(jī)開(kāi)或關(guān),自動(dòng)轉(zhuǎn)換到開(kāi)啟的電機(jī)上。可予先選定,也可在運(yùn)行中隨時(shí)查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速 |