AS-one 法國ANNEALSYS真空快速退火爐
- 公司名稱 上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 AS-one
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/7/26 23:12:46
- 訪問次數(shù) 43
聯(lián)系方式:王先生15021495336 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)地:法國AnnealSys;
型號:AS-One100/AS-One150
AS-ONE立式快速退火爐為法國AS公司生產(chǎn),分為AS-ONE 100, 150, 200三個(gè)型號,分別對應(yīng)4英寸、6英寸、8英寸的真空快速退火爐產(chǎn)品。
應(yīng)用:
- 快速熱退火 RTA;
- 快速熱氧化 RTO;
- 擴(kuò)散,接觸退火;
- 化合物半導(dǎo)體退火;
- 氮化,硅化;
- 硒化,硫化;
- 石墨烯沉積,碳納米管生長;
- 晶體化,致密化;
技術(shù)規(guī)格:
規(guī)格
AS-ONE 100
AS-ONE 150
最大樣品基底直徑
100mm (4英寸)
150mm (6英寸)
腔體尺寸
130mm直徑 x 25mm
200mm直徑 x 25mm
紅外燈數(shù)量/最大功率
12支 / 30KW
18支 / 34KW
紅外燈冷卻方式
風(fēng)扇
風(fēng)扇
標(biāo)準(zhǔn)溫度范圍
室溫 ~ 1250°C
室溫 ~ 1200°C
選配高溫版本范圍
室溫 ~ 1500°C
室溫 ~ 1300°C
升溫速度
0.1°C ~ 200°C/s
0.1°C ~ 150°C/s
溫度控制
快速數(shù)字PID控制器
快速數(shù)字PID控制器
熱電偶
K型
K型
高溫計(jì)
150°C ~ 1100°C
400°C ~ 1500°C
150°C ~ 1100°C
400°C ~ 1500°C
氣體注入
石英視窗以下
石英視窗以下
清洗氣路
標(biāo)準(zhǔn)配置
標(biāo)準(zhǔn)配置
工藝氣路方式/數(shù)量
MFC / 5路
MFC / 5路
真空獲得系統(tǒng)
干泵(10-2Torr)
分子泵(10-6Torr)
干泵(10-2Torr)
分子泵(10-6Torr)
尺寸/重量
510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg
510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg
參考客戶:
清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、華南理工大學(xué)、天津中電十八所、南京中電五十五所、GE上海研發(fā)中心、南方科大、深圳大學(xué)等。
大尺寸樣品快速退火爐
快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備??焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。
儀器特點(diǎn):
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA;
- 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用;
- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝,如156mm X 156mm電池片,300mm X 300mm電池片等;