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瑞士VAT-09.1 - 帶保護(hù)圈的高真空閘閥

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,汽車(chē)及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT-09.1 - 帶保護(hù)圈的高真空閘閥

如果氣流中副產(chǎn)品的比例很高,形成的沉積物可能會(huì)導(dǎo)致閥門(mén)故障以及計(jì)劃外的維護(hù)工作。09.1 帶保護(hù)圈的高真空閘閥可避免這一問(wèn)題。得益于其具有自清潔功能的特殊楔形設(shè)計(jì)以及保護(hù)圈,即便閥座上有大量沉積物,該高真空閘閥依然可以平穩(wěn)地打開(kāi)和關(guān)閉。由于閥板的楔形設(shè)計(jì),沉積物會(huì)被專門(mén)推離閥座或閘封,以始終保證可靠的密封性。此外,保護(hù)圈通過(guò)在閥門(mén)打開(kāi)位置覆蓋外殼,防止在板中積聚任何沉積物。09.1 高真空閘閥在壓差高達(dá) 1 bar 的情況下可以正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

09.1 帶保護(hù)圈的高真空閘閥已經(jīng)安裝在各種工藝條件下的嚴(yán)苛應(yīng)用中,證明了其在次晶圓廠應(yīng)用領(lǐng)域的可靠性。它可以輕易集成到任何應(yīng)用中。

09.1帶保護(hù)圈的高真空閘閥為氣動(dòng)類型??刂崎y的標(biāo)準(zhǔn)電壓為 24 VDC。標(biāo)準(zhǔn)密封材料為氟橡膠,但可根據(jù)要求使用其他材料。此外,還可以集成軟抽功能,并為測(cè)量?jī)x器等增加額外的接入點(diǎn)。

也可查看
09.1 采用楔形設(shè)計(jì)的高真空閘閥
09.2 HV 楔形設(shè)計(jì)的高真空插板閥

特點(diǎn):

    • 由于楔形設(shè)計(jì),此高真空閘閥具有自清潔功能

    • 保護(hù)圈可防止積聚沉積物

    • 閥門(mén)可在壓差高達(dá) 1 bar 時(shí)開(kāi)啟

優(yōu)勢(shì):

    • 在極惡劣條件下?lián)碛谐錾目煽啃?/p>

    • 維護(hù)周期延長(zhǎng)

    • 低運(yùn)行成本

技術(shù)參數(shù):

尺寸

DN 100mm (4")
驅(qū)動(dòng)器
氣動(dòng)雙作用
閥體材料

不銹鋼
饋通件

波紋管
標(biāo)準(zhǔn)法蘭

ISO-F
泄漏率
閥體
< 1 × 10-9 mbar ls-1
 閥座< 1 × 10-7 mbar ls-1
壓力范圍

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (絕對(duì)壓強(qiáng))
閥板可承受壓差

≤ 1.2 bar
打開(kāi)時(shí)可承受壓差

≤ 1 bar
維護(hù)前開(kāi)關(guān)次數(shù)

1000 次
溫度 
閥體
≤ 150 °C
 
驅(qū)動(dòng)器
≤ 100 °C
 
電磁閥
≤ 50 °C
 
位置指示器
≤ 70 °C
材料
閥體、閥板
AISI 304 (1.4301)
 

 波紋管

AISI 633 (AM350)
密封
閥蓋、閥板
氟橡膠(含氟彈性體)
可選:FFKM
安裝位置

任何位置
電磁閥

24 VDC,1 W
位置指示器:觸點(diǎn)額定值
電壓
24 VAC/DC
 
電流
≤0.5 A
 
功率
最大為 10 W
重量
20 kg / 44.1 lbs

瑞士VAT-09.1 - 帶保護(hù)圈的高真空閘閥



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