瑞士VAT高真空控制擺閥65.5系列
- 公司名稱 上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/7/17 14:54:34
- 訪問次數(shù) 30
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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瑞士VAT高真空控制擺閥65.5系列
65.5 高真空控制擺閥可提供高度可控的流導(dǎo)譜。由于其平穩(wěn)的打開和關(guān)閉運(yùn)動,粒子數(shù)和粒子生成水平極低,這也是其主要特點(diǎn)。
該閥門專為嚴(yán)苛工藝設(shè)計(jì),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的腐蝕性刻蝕和清潔應(yīng)用,在這些應(yīng)用中,當(dāng)初始可控流導(dǎo)較低時,需要高度可控的流導(dǎo)譜。
65.5 高真空控制擺閥的 DN 為 250 mm (10"),可將最小流導(dǎo)控制為僅有 2 ls-1。由于 32 位驅(qū)動器控制器的數(shù)據(jù)處理能力出色,可將流導(dǎo)增加控制到非常精細(xì)的程度。此外,還可提供更快的驅(qū)動,因?yàn)橄噍^于等效的 16 位控制器,傳感器和控制命令的處理速度更快。控制器上的各種標(biāo)準(zhǔn)端口連接器可通過個人計(jì)算機(jī)或連接到過程控制單元輕松訪問。
鐘擺閥板機(jī)構(gòu)采用極其堅(jiān)固的設(shè)計(jì),確保其能夠抵抗任 何工藝副產(chǎn)品。為減少密封磨損并避免粒子產(chǎn)生及生成,打開和關(guān)閉運(yùn)動是分開的。通過遠(yuǎn)離閥座的垂直運(yùn)動實(shí) 現(xiàn)第一級流導(dǎo),然后通過在水平運(yùn)動中移動鐘擺閥板來 增加流導(dǎo)。由于閥板運(yùn)動可控性佳,預(yù)設(shè)的運(yùn)動順序可根據(jù)工藝要求進(jìn)行精確調(diào)整。為確保密封關(guān)閉,通過的特殊壓桿將閥板壓在閥座上。這樣可確保閥板所有 區(qū)域的密封壓力均勻分布。
憑借緊湊的設(shè)計(jì)和直接安裝選項(xiàng)以及各種其他設(shè)計(jì)選項(xiàng),65.5 系列易于集成到各種真空流程中。
65.5 高真空控制擺閥采用鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁,帶有 ISO-F 和 JIS 標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器??杉煽蛻糁付ǚㄌm,也可作為加熱器,用于工作溫度高達(dá) 120℃ 的閥門。
1. 閥門
2. 驅(qū)動器軸
3. 雙軸驅(qū)動器
4. 驅(qū)動器饋通密封
5. 閘封
特點(diǎn):
在惡劣工藝環(huán)境下提供可靠隔離
低沖擊運(yùn)行,低粒子生成量
工藝惰性 – 極低的殘余釋氣(殘余氣體分析儀)
運(yùn)行快速、可調(diào)節(jié)
設(shè)備上壓力控制器
可選傳感器電源僅需一個電源
優(yōu)勢:
壓力控制性能
運(yùn)行快速,幾乎無粒子
可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整
技術(shù)參數(shù)
尺寸 | DN 250 (10") | ||
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驅(qū)動器 | 帶有伺服驅(qū)動器的集成壓力控制器 | ||
閥體材料 | 鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁 | ||
饋通件 | 旋轉(zhuǎn)饋通件 | ||
標(biāo)準(zhǔn)法蘭 | ISO-F, JIS | ||
泄漏率閥體 | 鋁 硬質(zhì)陽極氧化鋁 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-5 mbar ls-1 | |
泄漏率閥座 | 鋁 硬質(zhì)陽極氧化鋁 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-4 mbar ls-1 | |
壓力范圍 | 鋁 硬質(zhì)陽極氧化鋁 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (絕對壓強(qiáng)) 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (絕對壓強(qiáng)) | |
維護(hù)前開關(guān)次數(shù)1) | 壓力控制 關(guān)閉/打開 | 200萬次 | |
溫度 | 閥體 控制器 | ≤ 120 °C 最大 50℃(建議 ≤35℃) | |
材料 | 閥體、閥板 | EN AW-6061 (3.2311) T651 | |
其他部件 | AISI 316L (1.4404, 1.4435) | ||
閥板上的連接螺釘 | SST A4-80、Ni-PTFE、涂層 | ||
密封 | 閥蓋、閥板、閥體、饋通件 | 氟橡膠 | |
安裝位置 | 任何位置 |
瑞士VAT高真空控制擺閥65.5系列