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晶圓盒清洗機 芯矽科技

參考價 10000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號
  • 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/7/14 15:35:17
  • 訪問次數(shù) 34

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芯矽科技是一家專注半導體濕法設備制造公司,主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學鍍設備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據(jù)行業(yè)主導地位,已經(jīng)成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導體濕法設備

非標定制 根據(jù)客戶需求定制

在半導體生產(chǎn)中,晶圓盒(FOUP/SMIF Pod)作為晶圓傳輸?shù)暮诵娜萜鳎錆崈舳戎苯佑绊懥悸逝c工藝穩(wěn)定性。晶圓盒清洗機通過化學濕法、超聲波、兆聲波或等離子技術,高效去除殘留光刻膠、氧化物、顆粒及有機物,確保晶圓盒符合ISO 14644潔凈標準。

核心特點,彰顯技術實力:

納米級潔凈控制

采用多級過濾系統(tǒng)(0.1μm~1μm濾芯),配合化學液循環(huán)沖洗,清除微小顆粒與污染物。

支持SC-1(堿性)、SC-2(酸性)或定制配方,精準匹配不同工藝殘留。

智能自動化,提升效率

全自動上下料系統(tǒng),兼容MES接口,實現(xiàn)清洗-干燥-檢測一體化流程。

多腔室設計,支持并行處理,縮短周期至15分鐘/批次。

溫和工藝,保護精密結(jié)構(gòu)

兆聲波技術(800kHz~1MHz):均勻空化剝離,避免機械損傷。

等離子輔助(O?/Ar):高效去除有機物,無液體殘留,適合怕濕潤材料。

綠色節(jié)能,降低成本

化學液回收系統(tǒng)(如DI水循環(huán)+過濾),減少耗材消耗。

低溫干燥(IPA置換或真空烘干),兼容塑料/金屬材質(zhì)晶圓盒。

應用價值,賦能半導體生態(tài):

提升良率:避免晶圓盒污染導致的劃痕、氧化或粒子吸附。

延長壽命:清潔保障晶圓盒重復使用次數(shù)(>500次)。

適配制程:滿足EUV、3D封裝等對納米級潔凈度的嚴苛需求。

技術為刃,潔凈為盾——晶圓盒清洗機是半導體產(chǎn)業(yè)鏈中的關鍵核心,以精準、高效、可靠的性能,守護每一片晶圓的旅程。




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