2Z-HVS-200 高真空封裝機
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌 UNITEMP/尤尼坦
- 型號
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/15 14:06:36
- 訪問次數(shù) 63
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 箱式爐 | 應用領域 | 電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣,綜合 |
2Z-HVS-200 高真空封裝機
應用領域
● MEMS（微機電系統(tǒng)）的密封及熱封裝
● 吸氣劑激活
（在真空系統(tǒng)內(nèi)部沉積反應性材料）
● 在雙溫區(qū)熱處理過程中實現(xiàn)元件分離
產(chǎn)品特點
● 上下加熱
● 最多 4 條內(nèi)部氣體管路
● 數(shù)據(jù)記錄功能
● 真空度可達 10??百帕
● 配備西門子 SIMATIC® 控制器
● 通過 360°C 光學過程控制
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應用場景
2Z-HVS 是一款高真空密封設備，可對 MEMS 進行氣密性密封。
工藝氣體
該系統(tǒng)可使用標準工藝氣體，如氮氣、氧氣、形成氣等。
流量計
默認配置 1 條帶質(zhì)量流量控制器（MFC）的氣體管路，還可額外增加 3 條氣體管路（可選配質(zhì)量流量控制器）。
真空性能
系統(tǒng)真空度可達 10??百帕。
溫度
最高可達到的溫度為 450°C。
溫度分布
加熱板具有優(yōu)異的溫度分布性與均勻性。
編程功能
2Z-HVS 配備 SIMATIC® 控制器，可直接在設備上編程，也可通過 USB 接口連接電腦進行便捷編程。設備可存儲 20 個程序，每個程序包含 100 個步驟。
冷卻過程
底部加熱板采用主動水冷方式。腔室外殼冷卻需依賴外部冷卻（建議使用閉環(huán)水冷系統(tǒng)，配件型號：WC-I）。
特殊設計
工藝腔室周圍設有 360° 玻璃筒，可實時觀察工藝過程。
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