自動(dòng)檢測(cè) 晶圓檢測(cè)顯微鏡專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)，旨在提供高效、精準(zhǔn)且全面的晶圓檢測(cè)解決方案。它集成了多個(gè)精密模塊，包括XY手動(dòng)/電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)、Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)、物鏡模組、光源模組、晶圓放置模組、成像觀察模組、遠(yuǎn)程控制手柄、主動(dòng)對(duì)焦模組、缺陷標(biāo)記模組以及晶圓搬運(yùn)模組等，共同構(gòu)成了一個(gè)強(qiáng)大的檢測(cè)系統(tǒng)。

XY手動(dòng)/電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
該運(yùn)動(dòng)臺(tái)確保了大范圍內(nèi)的精準(zhǔn)定位，其XY軸精度高達(dá)≤2 μm，行程范圍為205 mm * 205 mm。同時(shí)，配備的離合器手柄支持快速移動(dòng)，顯著提高了操作效率。

Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)
Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)采用了雙控系統(tǒng)，同時(shí)具備電傳手輪和碼盤(pán)，能夠?qū)崿F(xiàn)微調(diào)精度≤1 μm和行程≥36 mm，滿足高精度調(diào)焦的需求。

物鏡模組
通過(guò)與蔡司合作，該顯微鏡采用了原裝手動(dòng)/電動(dòng)物鏡切換裝置，兼容多種高質(zhì)量物鏡，如EpiPlan消色差物鏡、EPN半復(fù)消色差物鏡及EPA復(fù)消色差物鏡，從而提供清晰且無(wú)畸變的圖像。

光源模組
提供5W和10W兩種LED透射式光源選項(xiàng)，能夠滿足不同的照明需求，確保圖像具備良好的亮度和對(duì)比度。

晶圓放置模組
載物臺(tái)設(shè)計(jì)靈活，可兼容4英寸、6英寸和8英寸的晶圓片，并且保留了透射光路，支持液晶面板的檢測(cè)工作。

成像觀察模組
該模組適配蔡司Axiocam系列相機(jī)和海康威視系列相機(jī)，同時(shí)可選配蔡司目鏡。它支持明場(chǎng)/暗場(chǎng)、微分干涉、熒光和偏光等多種觀察方式，為檢測(cè)提供了更多可能。

遠(yuǎn)程控制手柄
這是一個(gè)高度集成的控制中心，將物鏡切換、光強(qiáng)控制、照明切換、Z軸聚焦、XY運(yùn)動(dòng)軸遙感、缺陷標(biāo)記和主動(dòng)對(duì)焦等功能集于一身，實(shí)現(xiàn)了便捷的一鍵式操作。

主動(dòng)對(duì)焦模組
兼容的主動(dòng)對(duì)焦模組能在50×物鏡下實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)對(duì)焦，確保觀察到的圖像始終保持清晰狀態(tài)。

缺陷標(biāo)記模組
兼容的缺陷標(biāo)記模組可以對(duì)樣品上的缺陷部分進(jìn)行實(shí)時(shí)標(biāo)記，極大地方便了后續(xù)的分析和處理工作。

晶圓搬運(yùn)模組
兼容的晶圓搬運(yùn)模組能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓片的自動(dòng)上下料，有效提升了整體的生產(chǎn)效率。

這款自動(dòng)檢測(cè)晶圓檢查顯微鏡具有顯著的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

高精度：各運(yùn)動(dòng)軸及物鏡切換裝置均具備高精度性能，這是保證檢測(cè)結(jié)果準(zhǔn)確可靠的基礎(chǔ)。

多功能：集成的多種觀察方式和輔助功能，能夠滿足多樣化的檢測(cè)需求。

易操作：人性化的遠(yuǎn)程控制手柄設(shè)計(jì)，使得操作過(guò)程簡(jiǎn)便快捷。

兼容性強(qiáng)：它可以兼容多種尺寸的晶圓片和相機(jī)設(shè)備，適應(yīng)性強(qiáng)，能夠靈活應(yīng)對(duì)不同的應(yīng)用場(chǎng)景。

應(yīng)用領(lǐng)域

憑借其性能，該自動(dòng)檢測(cè) 晶圓檢測(cè)顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、液晶面板檢測(cè)以及材料科學(xué)研究等需要精密檢測(cè)的領(lǐng)域，為相關(guān)行業(yè)提供了有力的技術(shù)支持。