半導體水冷高精度冷水機故障解決方案
參考價 | ¥ 91575 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 無錫德偲商貿有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地 無錫新吳區(qū)
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/4 14:17:48
- 訪問次數(shù) 23
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
產地類別 | 國產 | 價格區(qū)間 | 2萬-5萬 |
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冷卻方式 | 水冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
應用領域 | 化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,電氣 |
關于我們
無錫德偲商貿有限公司是一家以客戶為本的公司,公司專業(yè)從事半導體控溫裝置Chiller、恒溫空調及制冷加熱管路的翻新維修服務,為半導體、太陽能、LED、LCD等領域提供設備維護解決方案。
支持所有的Chiller/Heat exchanger提供維修翻新服務,包括Neslab、SMC、Bay Voltex、Edwards、Lam、M&W、AMAT、Daikin、Lytron/Affinity、ATS等的產品維護保養(yǎng)。
我們注重著市場需求,提供靈活可靠的溫度控制解決方案,特的熱交換技術和高精確控溫技術,以及非標定制的產品,滿足客戶需求。
無錫德偲商貿有限公司提供以下服務:
Chiller維護維修保養(yǎng)翻新服務
我們提供Chiller的各類chiller維護維修保養(yǎng)翻新服務,以降低設施的能源成本并提高其能源效率。
改善和保持Chiller的性能
無錫德偲提供的Chiller維護維修保養(yǎng)翻新服務保證您的設備獲得適當和及時的保養(yǎng)維護服務,以確保其順利,有效地運行。借助無錫德偲提供的維護維修保養(yǎng)翻新服務,您將在發(fā)生故障之前意識到預期的問題,使您有機會根據(jù)時間表安排chiller維護,并防止任何停機時間。
無錫德偲提供的所有Chiller維護維修保養(yǎng)翻新服務確保您的冷水機在必要時會產生冷水,并具有滿足您設施的需求的冷卻能力。我們還確保其具有良好的水質和適當?shù)牧魉佟N覀儗z查您的控制系統(tǒng),以確保它們使您的冷水機保持適當?shù)乃?,從而表現(xiàn)良好。
提高冷水機的效率,降低您的成本
我們的維護維修保養(yǎng)翻新服務使您的Chiller保持良好,以確保您的能量和維修成本更小。立即聯(lián)系以制定預防性維護計劃。
我們的專業(yè)團隊擁有數(shù)十年的行業(yè)經驗,長期與國內外企業(yè)緊密合作。我們提供全國范圍內的chiller故障的快速支持,并可在我們的工廠進行高標準的保養(yǎng)維修。
半導體水冷高精度冷水機故障解決方案
半導體水冷高精度冷水機故障解決方案
半導體制造過程對溫度控制要求較高,雙通道冷水機Dual Channel Chiller作為關鍵的溫控設備之一,在半導體行業(yè)中應用廣泛。
一、半導體制造的溫控需求與挑戰(zhàn)
半導體制造涵蓋晶圓制造、封裝測試等多個環(huán)節(jié),每個環(huán)節(jié)對溫度的要求都較為苛刻。在光刻工藝中,溫度的細微波動都會影響光刻膠的性能和圖案轉移的精度,進而影響芯片的良率和性能。而在離子注入過程中,需要準確控制晶圓的溫度以確保離子注入的濃度符合要求。此外,半導體設備在運行過程中會產生大量的熱量,如不及時散發(fā),會導致設備性能下降甚至損壞。
半導體制造的溫控挑戰(zhàn)主要體現(xiàn)在溫度范圍廣、控溫精度高、動態(tài)響應快等方面。許多工藝需要在較寬溫范圍內進行,且控溫精度要求高。同時,生產過程中可能需要快速升降溫,以滿足不同工藝步驟的需求。
二、雙通道冷水機的技術特點
雙通道冷水機具有雙循環(huán)系統(tǒng)設計,能夠單獨控制兩個通道的溫度,滿足半導體制造中多工位、多工藝的溫控需求。
1、高精度控溫能力
采用成熟的PID控制算法、前饋PID控制算法以及無模型自建樹算法等多種控制算法,實現(xiàn)了系統(tǒng)的快速響應和高精度控溫。
2、寬溫范圍覆蓋
通過單機復疊制冷技術等制冷技術的應用,雙通道冷水機能夠實現(xiàn)寬溫度范圍覆蓋。在半導體制造中,可根據(jù)不同工藝需求提供相應的溫度控制,在低溫測試環(huán)節(jié)提供低溫環(huán)境,在高溫老化測試中提供高溫環(huán)境。
3、換熱與全密閉系統(tǒng)
采用板式換熱器、微通道換熱器等換熱元件,提高了換熱效率。同時,全密閉系統(tǒng)設計避免了導熱介質與外界空氣接觸,防止水汽凝結和介質氧化,延長了導熱介質的使用壽命,也保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。
4、智能監(jiān)控與通信功能
配備PLC可編程控制器和7英寸彩色觸摸屏,可實時顯示溫度曲線、導出數(shù)據(jù)等。同時支持多種通信協(xié)議,實現(xiàn)了與其他設備的遠程監(jiān)控和數(shù)據(jù)交互,便于工廠自動化管理。
三、雙通道冷水機在半導體制造中的具體應用場景
1、晶圓制造環(huán)節(jié)
在晶圓生長過程中,需要準確控制晶體生長爐的溫度,雙通道冷水機可提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境,確保晶圓的品質。在刻蝕工藝中,刻蝕設備的腔體溫度需要嚴格控制,以保證刻蝕速率和刻蝕精度的一致性。雙通道冷水機的雙循環(huán)系統(tǒng)可分別控制腔體和冷卻系統(tǒng)的溫度,提高刻蝕工藝的穩(wěn)定性。
2、封裝測試環(huán)節(jié)
在芯片封裝過程中,倒裝焊、鍵合等工藝對溫度的要求很高。雙通道冷水機可同時為多個封裝設備提供不同的溫度控制,提高生產效率。在芯片測試環(huán)節(jié),需要對芯片進行高低溫沖擊測試,以評估芯片在不同溫度環(huán)境下的性能。雙通道冷水機可快速切換溫度,滿足測試需求。
雙通道冷水機Dual Channel Chiller在半導體制造中具有廣泛的應用前景,在選型過程中,應根據(jù)具體的工藝需求、設備發(fā)熱量等因素,選擇合適的型號,以確保半導體制造過程的穩(wěn)定性和可靠性,提高芯片的良率和性能。