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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設(shè)備>濕法清洗設(shè)備> 濕法去膠設(shè)備 芯矽科技

濕法去膠設(shè)備 芯矽科技

參考價(jià) 10000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號
  • 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/6/10 11:45:12
  • 訪問次數(shù) 111

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芯矽科技是一家專注半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實(shí)驗(yàn)室研發(fā)級到全自動(dòng)量產(chǎn)級槽式清洗機(jī),單片清洗機(jī),高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動(dòng)晶圓化學(xué)鍍設(shè)備,12寸全自動(dòng)爐管/ Boat /石英清洗機(jī)已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位,已經(jīng)成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導(dǎo)體濕法設(shè)備

非標(biāo)定制 根據(jù)客戶需求定制

濕法去膠設(shè)備是一種利用化學(xué)溶劑或物理方法去除物體表面膠粘劑的工業(yè)設(shè)備,廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、光伏、橡膠回收等領(lǐng)域。以下是關(guān)于濕法去膠設(shè)備的詳細(xì)介紹:

核心功能與原理

去膠原理

化學(xué)溶解:通過溶劑(如水、酸堿溶液、有機(jī)溶劑NMP等)與膠體的化學(xué)反應(yīng),軟化或分解膠層,實(shí)現(xiàn)剝離。

物理輔助:結(jié)合超聲波震蕩、高壓噴淋、旋轉(zhuǎn)刷洗或氣泡沖擊等手段,增強(qiáng)去膠效率,尤其適用于頑固膠體或高深寬比結(jié)構(gòu)。

關(guān)鍵組件

溶劑槽:存放去膠液(如TMAH顯影液、NMP、丙二醇等),根據(jù)膠種選擇配方。

旋轉(zhuǎn)刷槽/超聲波模塊:通過機(jī)械刷洗或空化效應(yīng)剝離膠體,提升均勻性。

水洗槽:清除殘留溶劑,避免二次污染。

干燥系統(tǒng):采用熱風(fēng)、真空或IPA脫水等方式快速干燥,防止水漬殘留。

技術(shù)優(yōu)勢與特點(diǎn)

高效性

濕法去膠速度較快,適合批量處理(如半導(dǎo)體晶圓、光伏硅片),單次處理量可達(dá)數(shù)十至數(shù)百片。

自動(dòng)化設(shè)計(jì)(如傳送帶、機(jī)械臂)減少人工干預(yù),提升產(chǎn)能。

材料兼容性

可處理多種基材(硅片、玻璃、金屬、塑料等),且對基材損傷小。

通過調(diào)整溶劑濃度、溫度(常溫~80℃)和處理時(shí)間,適應(yīng)不同膠種(如光刻膠、導(dǎo)電膠、UV膠)。

環(huán)保與安全

部分設(shè)備采用水基溶劑或可回收溶劑(如NMP蒸餾回收),減少有害排放。

封閉式設(shè)計(jì)避免溶劑揮發(fā),配合廢液處理系統(tǒng)(中和、過濾)符合環(huán)保要求。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體與光伏

去除光刻膠(如正膠AZ系列、負(fù)膠NR系列),保障后續(xù)刻蝕或沉積工藝良率。

清洗硅片/電池片表面殘留膠體,提升封裝可靠性。

電子封裝

去除芯片、BGA焊點(diǎn)或LED封裝中的環(huán)氧樹脂或?qū)щ娔z殘留,避免短路或光學(xué)缺陷。

橡膠回收

粉碎廢舊輪胎、橡膠制品,通過溶劑分離膠粘劑,再生高純度橡膠顆粒。

技術(shù)參數(shù)與選型要點(diǎn)

參數(shù)典型規(guī)格
適用基材尺寸50mm×50mm(小芯片)~300mm×300mm(半導(dǎo)體晶圓)
去膠液類型水基、酸性(H?SO?+H?O?)、堿性(TMAH、KOH)、有機(jī)溶劑(NMP、DMSO)
溫度控制范圍常溫~80℃(PID精準(zhǔn)調(diào)節(jié))
去膠速率>99%(常規(guī)膠體),頑固膠需超聲波或延長浸泡時(shí)間
干燥后潔凈度表面無可見殘留,顆粒<0.1μm(激光檢測)
環(huán)保合規(guī)性符合ROHS、REACH標(biāo)準(zhǔn),支持溶劑回收率>80%


操作注意事項(xiàng)

溶劑選擇:需匹配膠體類型(如UV膠需酸性配方,光刻膠多用有機(jī)溶劑)。

廢液處理:分類收集化學(xué)液,避免交叉污染,部分設(shè)備集成在線中和系統(tǒng)。

維護(hù)成本:定期清潔噴嘴、更換密封件,防止溶劑結(jié)晶堵塞管道。

濕法去膠設(shè)備通過化學(xué)溶解與物理輔助結(jié)合,實(shí)現(xiàn)高效、均勻的去膠效果,是精密制造與環(huán)?;厥盏暮诵墓ぞ摺F浼夹g(shù)發(fā)展聚焦于綠色化、智能化與復(fù)雜結(jié)構(gòu)適配,未來將持續(xù)推動(dòng)半導(dǎo)體、光伏及新材料領(lǐng)域的工藝升級。



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