ZTT200是垂直升降與水平調(diào)平三軸一體式精密定位平臺(tái)，利用三個(gè)直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用精密球形鉸鏈耦合，具備非常優(yōu)秀的微動(dòng)精度和動(dòng)態(tài)性能，整體高度小，尺寸精巧，厚度60mm，臺(tái)面直徑200mm，負(fù)載能力可達(dá)8kg，兼容潔凈室環(huán)境使用。

ZTT200是一款兼具點(diǎn)到點(diǎn)的靜態(tài)定位精度，同時(shí)具備非常突出的動(dòng)態(tài)精度，可以適應(yīng)對(duì)微動(dòng)和動(dòng)態(tài)跟隨誤差要求嚴(yán)格的晶圓檢測(cè)、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、面板檢測(cè)或者無(wú)掩膜光刻等應(yīng)用，可以根據(jù)傳感器聚焦高度實(shí)時(shí)調(diào)整高度和角度姿態(tài)，解決客戶的運(yùn)動(dòng)控制難題。

ZTT200平臺(tái)最小步進(jìn)測(cè)試

100nm最小步進(jìn)

1角秒最小步進(jìn)

備注：

(1) 空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

(2) 默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm。