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PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳深光達(dá)科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地 深圳
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/6/22 21:35:58
  • 訪問(wèn)次數(shù) 100

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我們注于等離子(PLASMA)清洗工藝技術(shù)和相關(guān)裝備的研發(fā)生產(chǎn),核心技術(shù)源自歐美二十年等離子體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。公司核心團(tuán)隊(duì)來(lái)自中科院等離子體物理研究所、德國(guó)Diener、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)、北京大學(xué)等國(guó)內(nèi)科研機(jī)構(gòu),其開(kāi)發(fā)的等離子清洗裝備已廣泛應(yīng)用于高校、半導(dǎo)體、汽車、電子行業(yè)、3C行業(yè)、印刷行業(yè)生物等行業(yè)域。深光達(dá)科技成立至已為清華大學(xué)、西安交通大學(xué)、比亞迪、蘭州大學(xué)、深圳大學(xué)、香港大學(xué)、提供過(guò)等離子處理設(shè)備和解決方案, 我們將不斷為材料表面處理開(kāi)發(fā)創(chuàng)新方案,致力于為用戶提供等離子表面處理與檢測(cè)整體解決方案。深圳深光達(dá)科技有限公司深耕等離子技術(shù)域十余載,表面處理解決方案服務(wù)商。公司自主研發(fā)的真空、大氣常壓及微波等離子清洗設(shè)備,精準(zhǔn)清洗與活化,設(shè)備連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定性達(dá)99.6%以上,通過(guò)ISO 9001/14001雙體系認(rèn)證。其低溫真空等離子去膠機(jī)**在半導(dǎo)體封裝環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)每小時(shí)300片晶圓的量產(chǎn)處理,刻蝕均勻性誤差<3%,助力客戶良品率提升20%+。針對(duì)汽車內(nèi)飾、醫(yī)療導(dǎo)管等復(fù)雜曲面,**常壓旋轉(zhuǎn)噴槍系統(tǒng)**可完成360°處理,表面張力值穩(wěn)定提升至72mN/m以上。現(xiàn)已在富士康、比亞迪等200+企業(yè)產(chǎn)線中實(shí)現(xiàn)7×24小時(shí)不間斷作業(yè),設(shè)備MTBF突破8000小時(shí),以航空品質(zhì)重新定義工業(yè)清洗標(biāo)準(zhǔn)。主營(yíng)產(chǎn)品有等離子清洗機(jī),等離子去膠機(jī),實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī),真空等離子清洗機(jī),低溫等離子清洗機(jī),大氣等離子清洗機(jī),等離子表面處理機(jī),等離子刻蝕機(jī),晶圓清洗機(jī),反應(yīng)離子刻蝕機(jī),旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀

 

 

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產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

VPS-RF10是一款小型科研用射頻真空等離子清洗機(jī),擁有多層處理電極,有效提高腔體利用率,滿足多種清洗需求 。其原理是利用高頻的交變電場(chǎng)作用于真空氣體中,形成大量的等離子體,通過(guò)復(fù)雜的物理和化學(xué)過(guò)程來(lái)去除材料表面的污染物。采用這種方法能夠提升材料的粘附性與濕潤(rùn)性,去除不同類型的污染物和雜質(zhì),從而為之后的工序奠定良好的基礎(chǔ)。


PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機(jī)特點(diǎn):進(jìn)口等離子電源電路技術(shù)、放電結(jié)構(gòu),確保等離子體均勻分布


PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機(jī)應(yīng)用:提高親水性、提高粘接性、有機(jī)物清洗、PDMS鍵合、硅片玻璃清洗、氧化物還原

PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機(jī)



     產(chǎn)品參數(shù):

型號(hào)

VPS-RF10

等離子頻率

13.56MHz自動(dòng)阻抗匹配

極限真空度

1Pa

功率

0-300W(可調(diào))

腔體尺寸

230(L)*270(D)*200(H)mm

腔體容積

11L

單層有效處理面積

210(L)×220(D)mm

處理層數(shù)

3層

極板間距

58mm

腔體材質(zhì)

進(jìn)口級(jí)316L不銹鋼

氣路數(shù)量

2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮?dú)?,氫氣等(腐蝕性氣體需定制)

控制方式

PLC+觸摸屏

電源

AC220V/50Hz

外形尺寸

550mm(L)×580mm(W) ×500mm(H)





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