單層潔凈烤箱專為半導(dǎo)體、電子封裝、醫(yī)藥、光學(xué)等高潔凈度行業(yè)設(shè)計(jì)，通過精密溫控與高效過濾系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)無塵、均勻的烘烤環(huán)境。其核心功能包括：

潔凈控制：內(nèi)置HEPA或ULPA過濾器（過濾等級≥0.3μm），循環(huán)風(fēng)道封閉設(shè)計(jì)，防止外部污染進(jìn)入。

精準(zhǔn)溫控：PID溫控系統(tǒng)（精度±1℃），多段程序控溫，滿足固化、退火、預(yù)熱等工藝需求。

均勻性保障：強(qiáng)制對流風(fēng)扇+均風(fēng)板設(shè)計(jì)，確保腔內(nèi)溫度均勻性（±2℃~±5℃）。

一、技術(shù)特點(diǎn)

潔凈室兼容

箱體采用304/316L不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕易清潔，符合Class 1000~10000潔凈標(biāo)準(zhǔn)。

可選配充氮裝置（氮?dú)鉂舛瓤煽?9.99%），避免氧化或濕敏材料受潮。

安全與節(jié)能設(shè)計(jì)

超溫報(bào)警、防爆泄壓閥、獨(dú)立限溫器三重保護(hù)，防止意外故障。

低功耗隔熱層（巖棉/陶瓷纖維）降低能耗，節(jié)能達(dá)30%。

靈活性與擴(kuò)展性

支持定制尺寸（如450mm×450mm×450mm標(biāo)準(zhǔn)腔體），適配不同載具（如晶圓舟、托盤）。

可集成MES系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)追溯（如溫度曲線、運(yùn)行日志）。

二、關(guān)鍵組件與工藝適配

加熱系統(tǒng)：碳纖維紅外加熱管或嵌入式電熱絲，升溫速率可調(diào)（0.5℃~10℃/min）。

空氣循環(huán)：軸流風(fēng)機(jī)+勻流孔板，風(fēng)速可調(diào)節(jié)，避免粉塵二次附著。

典型應(yīng)用：

半導(dǎo)體：光刻膠固化、晶圓烘干、BCB聚合物固化。

醫(yī)藥：注射劑瓶干燥、醫(yī)療器械滅菌后烘干。

光學(xué)：透鏡鍍膜固化、濾光片應(yīng)力消除。

三、操作與維護(hù)優(yōu)勢

人機(jī)界面：7英寸觸摸屏（支持中英文切換），預(yù)設(shè)工藝模板一鍵調(diào)用。

清潔便捷：可拆卸不銹鋼內(nèi)腔，R角設(shè)計(jì)，配合酒精或去離子水擦拭即可。

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)：符合SEMI S2/S8、ISO 14644-1潔凈度規(guī)范，CE/RoHS認(rèn)證。

四、選型指南

基礎(chǔ)款：適用于常規(guī)電子元件烘烤（溫度范圍RT~300℃，潔凈度Class 1000）。

高級款：添加真空泄漏檢測、氧濃度監(jiān)控，適配MEMS傳感器、LiDCO封裝等嚴(yán)苛工藝。

單層潔凈烤箱通過高效過濾、精準(zhǔn)控溫與安全防護(hù)，解決高潔凈場景下的烘烤難題，兼具穩(wěn)定性與靈活性，是精密制造的設(shè)備。