Foup清洗機廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中，用于清洗FOUP、FOSB、Cassette等所有類型的晶圓料盒。這些料盒在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中用于裝載和轉(zhuǎn)運晶圓，因此保持其清潔度對于提高生產(chǎn)效率與質(zhì)量至關(guān)重要。

使用說明

準(zhǔn)備工作：在使用前，需對設(shè)備進行準(zhǔn)備和校驗，確保設(shè)備處于良好的工作狀態(tài)。同時準(zhǔn)備好清洗液，并對清洗液進行檢測，以確定其成分和濃度是否符合要求。

裝入FOUP：將待清洗的FOUP裝入專用的清洗器具中，通常是可以封閉的清洗槽，以確保FOUP在清洗過程中不受外界污染。

預(yù)洗：先預(yù)洗，一般采用超純水來沖洗FOUP表面，去除表面的大部分雜質(zhì)和塵埃。這一步驟有助于減輕后續(xù)清洗液的工作負擔(dān)，提高清洗效率。

清洗液清洗：在預(yù)洗后，使用專用的清洗液對FOUP進行清洗。清洗液的選擇通常根據(jù)所需清洗的污染物種類和FOUP的材料來確定。清洗過程中可能會涉及到溫度和浸泡時間等參數(shù)的調(diào)整，以達到清洗效果。

沖洗：清洗液清洗完成后，需要用超純水對FOUP進行沖洗，去除清洗液和污染物的殘留。沖洗過程通常采用多次的水沖洗，以確保清洗干凈。

烘干：沖洗后，需要將FOUP進行烘干。烘干方式一般采用熱風(fēng)吹干，以確保FOUP內(nèi)外均干燥，無任何水分殘留。

檢查和質(zhì)量控制：最后，對清洗后的FOUP進行質(zhì)量檢查，包括外觀檢查、殘留污染物的檢測等，以確保清洗效果符合要求。