日本HORIBA堀場原裝數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)

日本HORIBA堀場原裝數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)

LU 系列自動供液系統(tǒng)

LU 系列以不間斷、安全和可靠的方式將液態(tài)化學(xué)品輸送至液體材料烘烤系統(tǒng)和注入系統(tǒng)。這增加了正常運(yùn)行時(shí)間，減少了操作人員手動操作和制程污染的風(fēng)險(xiǎn)。

LU 系列提供自動執(zhí)行殘余液體清洗程序的功能。

使用 LU 系列提高了供液能力和保養(yǎng)效率。

• 蒸汽壓力監(jiān)視功能作為標(biāo)準(zhǔn)配置，可在更換母罐期間檢查吹掃效率

• 可選配稱重傳感器，監(jiān)視母罐中殘余液體總量

• LU-A1000 系列設(shè)計(jì)緊湊，采用集成氣體系統(tǒng)，與傳統(tǒng)配件相比，可顯著減小尺寸

• 日常維護(hù)時(shí)輕松更換部件

• 脫氣器模塊為標(biāo)準(zhǔn)配置，可降低液體鼓泡風(fēng)險(xiǎn)，適用于各種汽化系統(tǒng)，包括注入和烘烤應(yīng)用

• 安全標(biāo)準(zhǔn)：SEMI S2/S8/S14, CE 標(biāo)志

• 安全改善：多樣化的監(jiān)視設(shè)備提供全自動控制。LU-A1000 系列配備了自動緊急關(guān)機(jī)功能，一旦系統(tǒng)出現(xiàn)故障，該功能將被啟動

• 可操作性改進(jìn)：操作步驟全自動化，防止操作失誤。操作也可以通過設(shè)備前端的觸控面板來控制