SOPHI-400 日本ULVAC愛發(fā)科半導體兼容高能離子注入機
- 公司名稱 玉崎科學儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 SOPHI-400
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/11/25 14:38:52
- 訪問次數(shù) 726
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真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設備,環(huán)境測量設備 環(huán)境檢測設備
日本ULVAC愛發(fā)科半導體兼容高能離子注入機
日本ULVAC愛發(fā)科半導體兼容高能離子注入機
兼容高能離子注入機SOPHI-400
這是一種高能離子注入機，可處理高達 1200keV 的電壓。
中電流離子注入機IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機，非常適合大學的研發(fā)。
特征
單片式
兼容薄晶圓
平行光束
最大晶圓尺寸為8英寸，配備可處理不規(guī)則形狀基板的壓板。
除了氣體源之外，固體蒸發(fā)源也可用于易于安全處理 B、P 和 As 離子的離子源。
高壓端子部分與量產(chǎn)設備配置相同，確保高可靠性。
目的
功率器件薄基板工藝、IGBT工藝
規(guī)格
板材尺寸：Max200mm
最大電壓：Max1200 keV
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