愛拓利具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件研發(fā)水平， 擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的氣體質(zhì)量流量計(jì)及控制器核心部件（高精度氣體質(zhì)量流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥、全金屬密封比例閥）及生產(chǎn)設(shè)備，是國(guó)內(nèi)少數(shù)能夠全面自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)之一?！耙躁P(guān)鍵技術(shù)自主研發(fā)為核心使命、以市場(chǎng)為導(dǎo)向”，愛拓利致力于為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、可靠的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品、定制化服務(wù)和解決方案。

MFC330 氣體流量控制器傳感器基于毛細(xì)管柱熱式傳感器，毛細(xì)管傳感器管通過氣體的熱容量來(lái)測(cè)量其內(nèi)部質(zhì)量流量，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測(cè)器繞組帶到下游繞組，二者都在傳感器管的外部。

需要預(yù)熱： 5min 內(nèi)達(dá)到 95% 流量精度，最長(zhǎng)預(yù)熱30min

響應(yīng)速度較慢：基于熱傳導(dǎo)，MFC響應(yīng)速度≤ 1s ，優(yōu)點(diǎn)：由于其非接觸式的結(jié)構(gòu)，抗腐蝕，液體不損壞，過流不損壞。

愛拓利主營(yíng)氣體流量控制器主要有MFC300和MFC330。

氣流進(jìn)入MFC后，分成兩個(gè)內(nèi)部流路：

一條路徑：流經(jīng)加熱的毛細(xì)管傳感器管，該管的直徑較小且長(zhǎng)度較長(zhǎng)。

第二條平行路徑：通過分流旁路。

兩條路徑的流量比例取決于分流柱的設(shè)定，出廠前完成該設(shè)定。

設(shè)定完成后，通過毛細(xì)管柱傳感器管和分流旁路的流量之比是恒定的。

毛細(xì)管傳感器管通過氣體的熱容量來(lái)測(cè)量其內(nèi)部質(zhì)量流量，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測(cè)器繞組帶到下游繞組，二者都在傳感器管的外部。

需要預(yù)熱： 5min 內(nèi)達(dá)到 95% 流量精度，最長(zhǎng)預(yù)熱30min

響應(yīng)速度較慢：基于熱傳導(dǎo)，MFC響應(yīng)速度≤ 1s