3D顯微鏡在形貌量測功能領(lǐng)域具有突出表現(xiàn)。由于物鏡的小分辨率和長焦深，樣品不能由單次拍照獲得。為了能夠觀察到長焦深范圍內(nèi)小尺寸特征和結(jié)構(gòu)，托托科技采用景深融合技術(shù)，一次性觀察不同焦深的高分辨率圖像，保證了樣品形貌量測準(zhǔn)度和一致性。同時，該系統(tǒng)還集成了景深延拓功能，景深延拓通過分析不同焦點高度處的對比度變化，實現(xiàn)對物體的三維表面測量和特征描述，能夠詳細(xì)檢查物體表面，并以長景深的方式獲取精確的三維成像。3D成像顯微鏡是一種快速且高分辨率的技術(shù)，用于大范圍的表面拓?fù)錅y量，能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級分辨率的重建。

神影系列3D顯微鏡 Miracle Vision具有高表面粗糙度重復(fù)精度、高垂直方向的測量精度、快速測量、觀測細(xì)節(jié)可視化、數(shù)據(jù)化等優(yōu)勢，同時能夠支持較大尺寸樣品，非常適用于各個領(lǐng)域的精密測量。

提供了非接觸的表面形貌測量，具有高的可重復(fù)性，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、光學(xué)透鏡、金屬表面、汽車涂層、MEMS器件等廣泛精密加工行業(yè)的形貌、粗造度長度、曲率、深度、體積、顆粒分布等形貌測量，同樣適用于航天、醫(yī)療、材料、科學(xué)研究領(lǐng)域。可檢測各種粗糙度、各種反射率的器件表面，檢測器件的表面尺寸從納米、微米到毫米，都可由同一臺設(shè)備完成，提供主流的國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)下，上百種測量參數(shù)，將觀測細(xì)節(jié)可視化、數(shù)據(jù)化，一次完成。

神影系列3D顯微鏡 Miracle Vision產(chǎn)品亮點：

• 表面粗糙度重復(fù)精度高達(dá)0.1 nm

• 垂直方向測量精度可達(dá)1 nm

• 支持樣品尺寸可達(dá)1000 mm及以上

景深融合-清晰的2D成像

由于物鏡的小分辨率和長焦深不能由單次拍照獲得。為了能夠觀察到長焦深范圍內(nèi)小尺寸特征和結(jié)構(gòu)，托托科技采用景深融合技術(shù)，一次性觀察不同焦深的高分辨率圖像。

景深延拓-景深延拓3D成像

景深延拓通過分析不同焦點高度處的對比度變化，實現(xiàn)對物體的三維表面測量和特征描述，能夠詳細(xì)檢查物體表面，并以長景深的方式獲取精確的三維成像。

白光干涉形貌儀-納米級的3D形貌量測

白光干涉形貌儀是一種快速且高分辨率的技術(shù)，用于大范圍的表面拓?fù)錅y量，能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級分辨率的重建。