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Savannah 原子層沉積ALD

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原子層沉積ALD薄膜沉積

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,電氣

1. 產(chǎn)品概述

Savannah®配備了高速氣動(dòng)脈沖閥,以實(shí)現(xiàn)我們的曝光模式™,用于在超高寬寬比基板上沉積薄膜。這種經(jīng)過驗(yàn)證的精密薄膜鍍膜方法可用于在縱橫比大于 2000:1 >基板上沉積保形、均勻的薄膜。Savannah® 提供三種配置:S100、S200 和 S300。Savannah® 能夠容納不同尺寸的基材(S300 可達(dá) 300 毫米)。Savannah®薄膜沉積系統(tǒng)配備了加熱的驅(qū)體線,并可選擇添加多達(dá)六條線。Savannah® 能夠處理氣體、液體或固體體。

Veeco 原子層沉積 (ALD) 系統(tǒng)供應(yīng)商,為研究和工業(yè)提供全面的服務(wù)和多功能的交鑰匙系統(tǒng),這些系統(tǒng)易于訪問、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠且精確到原子尺度。薄膜沉積是我們的長(zhǎng)。我們的 Savannah® 系列薄膜沉積工具就是這些能力的例證。Savannah® 已成為全球從事原子層沉積 (ALD) 的大學(xué)研究人員的選系統(tǒng),他們正在尋找經(jīng)濟(jì)實(shí)惠且強(qiáng)大的平臺(tái)。在過去十年中,我們已經(jīng)交付了數(shù)百個(gè)這樣的系統(tǒng)。Savannah®對(duì)驅(qū)體的高效利用和節(jié)能特性大大降低了薄膜沉積系統(tǒng)的運(yùn)行成本。

2. 主要功能包括

原位橢圓偏振儀

原位質(zhì)量控制

自組裝單層膜

2循環(huán)時(shí)間

綜合臭氧

低蒸氣壓沉積

批處理

手套箱集成



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