日本ELIONIX電子束光刻系統(tǒng)
- 公司名稱 天津瑞利光電科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/8/9 21:21:19
- 訪問次數(shù) 229
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光電設備、光學儀器、機電設備及配件、電氣成套設備、工業(yè)自動化控制設備、電子設備、智能設備、通訊設備、儀器儀表、實驗室設備、五金交電、電線電纜、環(huán)保設備、汽車配件、工藝品、辦公用品的銷售；自營和代理貨物及技術的進出口業(yè)務；光電設備安裝、調(diào)試及檢修
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應用領域 | 電子/電池,電氣 |
|---|---|---|---|
| 組件類別 | 光源 |
ELIONIX-電子束光刻系統(tǒng)-ELS-HAYATE
產(chǎn)品型號：ELS-HAYATE
產(chǎn)品介紹：ELS-HAYATE能夠在數(shù)小時內(nèi)制造出完整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具。ELS-HAYATE非常適合需要高吞吐量和超細圖案分辨率的大型制造寫入場。
性能特點：
可實現(xiàn)字段大小5mm的統(tǒng)一繪制
實現(xiàn)了業(yè)界的5毫米偏轉(zhuǎn)。因為可以統(tǒng)一繪制的區(qū)域變大，因此它非常適合在意字段間連接誤差的應用程序。此外，由于樣品表面內(nèi)的載物臺移動次數(shù)也減少，高吞吐量的微細加工也能起到作用。
采用大電流電子光學系統(tǒng)
配備高電流電子光學系統(tǒng)，可以實現(xiàn)超出電子束光刻常識的高通量微制造。以前通過激光光刻或光刻產(chǎn)生的微米到毫米量級的圖案，現(xiàn)在可以高質(zhì)量曝光。
400MHz生產(chǎn)用高速掃描時鐘
當在高電流下進行光刻時，須將光斑間距設置得較寬，以平衡小劑量時間和良好劑量。
參數(shù)：
產(chǎn)地：日本
加速電壓：50 kV
束流：1 nA～800 nA
最小光束直徑：D 10 nm
標準場尺寸：5000μm
最小/最大字段大?。?/span>
最小1000μm
最大5000μm
掃描時鐘：最大400MHz
最小發(fā)射間距：最小1.0nm
最大樣品尺寸：8“晶圓/12”晶圓
最大曝光F/S：200毫米x 200毫米/300毫米x 300毫米
加載機制：
單臺自動裝載機
多功能自動裝載機
機器人裝載機
采購中心
化工儀器網(wǎng)