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Ionfab 300 IBD 離子束沉積

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 OXFORD/英國牛津
  • 型號 Ionfab 300 IBD
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2025/6/5 17:17:21
  • 訪問次數(shù) 464
產(chǎn)品標簽

離子束沉積

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

  • 多模式功能

  • 能夠與其它等離子體刻蝕和沉積設(shè)備相集成

  • 單晶圓傳送模式或集群式晶圓操作

  • 雙束流配置

  • 更低的表面薄膜粗糙度

  • 更佳的批次均勻性和工藝重復性

  • 準確終點監(jiān)測 —— SIMS，發(fā)射光譜

    產(chǎn)品特點

  • 質(zhì)量薄膜高 ——超低污染

  • 產(chǎn)量高，緊湊的系統(tǒng)體積設(shè)計-——運行成本低

  • 高速襯底架（高達1000RPM）設(shè)計，并配備了白光光學監(jiān)視器（WLOM）——更為精確的實時光學薄膜控制

  • 配置靈活 ——適于先進的研究應用

  • 靈活的晶圓操作方式 —— 直開式、單晶圓傳送模式或者帶機械手臂的盒對盒模式

    應用

  • 磁阻式隨機存取存儲器（MRAM）

  • 介電薄膜

  • III-V族光電子材料刻蝕

  • 自旋電子學

  • 金屬電極和軌道

  • 超導體

  • 激光端面鍍膜

  • 高反射（HR）膜

  • 防反射（AR）膜

  • 環(huán)形激光陀螺反射鏡

  • X射線光學系統(tǒng)

  • 紅外（IR）傳感器

  • II-VI族材料

  • 通信濾波器




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