Adwill-Global紫外線研磨用表面保護(hù)膠帶 E系列 特點(diǎn)介紹

紫外線硬化型研磨用表面保護(hù)膠帶 Adwill E系列可在背面研磨時(shí)為晶圓正面提供可靠保護(hù)，防止研磨水或殘?jiān)秩胛廴揪A正面。

膠帶通過(guò)紫外線照射后,粘著力會(huì)大幅度弱化，方便從晶圓上剝離, 因此不會(huì)給晶圓造成壓力，同時(shí)適用于大尺寸、薄型晶圓的加工。

Adwill-Global紫外線研磨用表面保護(hù)膠帶 E系列 規(guī)格參數(shù)

1．設(shè)備的高可靠性

晶圓表面的污染極小，因此背面研磨后無(wú)需進(jìn)行晶圓清洗。

2．高潔凈度等級(jí)

粘著加工環(huán)境達(dá)到100級(jí)（以美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209b為基準(zhǔn)）。

適用于帶錫球晶圓 和 薄型晶圓的膠帶產(chǎn)品

1．控制背面研磨后晶圓的翹曲、適用于錫球晶圓

通過(guò)在膠帶中增加應(yīng)力緩沖性能，防止因膠帶貼合時(shí)產(chǎn)生的殘余應(yīng)力所導(dǎo)致的背面研磨后晶圓翹曲。此外，利用錫球晶圓研磨時(shí), 通過(guò)即使驅(qū)散產(chǎn)生的應(yīng)力，以防止晶圓破損和晶圓研磨紋的產(chǎn)生，同時(shí)提高晶圓研磨厚度的均一性。

2．提高晶圓厚度的精度(T.T.V.*)

提高研磨后晶圓厚度的均一性膠帶具有良好的厚度均一性，可以保持背面研磨后的晶圓厚度精度。*T.T.V.＝全局厚度公差

紫外線硬化型研磨用表面保護(hù)膠帶 Adwill E系列可在背面研磨時(shí)為晶圓正面提供可靠保護(hù)，防止研磨水或殘?jiān)秩胛廴揪A正面。

膠帶通過(guò)紫外線照射后,粘著力會(huì)大幅度弱化，方便從晶圓上剝離, 因此不會(huì)給晶圓造成壓力，同時(shí)適用于大尺寸、薄型晶圓的加工。