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RMS 1000 高溫電阻測量系統(tǒng)

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深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司深耕科學(xué)儀器與精密測試設(shè)備領(lǐng)域,作為專業(yè)服務(wù)商,我們整合了多種優(yōu)質(zhì)技術(shù)資源,為科研創(chuàng)新、工業(yè)制造及質(zhì)量管控領(lǐng)域提供高價值解決方案。作為國內(nèi)外多個品牌的合作伙伴,公司構(gòu)建了涵蓋電化學(xué)分析、膜厚與表面輪廓檢測、電學(xué)測量、力學(xué)測量等領(lǐng)域的多元化產(chǎn)品體系,致力于以精準(zhǔn)數(shù)據(jù)驅(qū)動行業(yè)升級。

在電化學(xué)領(lǐng)域,我們提供從基礎(chǔ)研究到產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的先進設(shè)備,覆蓋電池性能評估、電催化研究、腐蝕監(jiān)測等場景;膜厚及表面輪廓測試產(chǎn)品線以納米級精度賦能半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、新能源材料等行業(yè)的工藝優(yōu)化;電學(xué)儀表系列聚焦電子元器件檢測及實驗室標(biāo)準(zhǔn)化需求,確保測量精度與效率雙提升;力學(xué)測量解決方案則專注于材料強度測試,為金屬、陶瓷、復(fù)合材料及柔性電子等領(lǐng)域提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐。

依托成熟的服務(wù)體系、我們幫助客戶實現(xiàn)技術(shù)工具與業(yè)務(wù)場景的深度融合。未來,公司將持續(xù)拓展技術(shù)邊界,以創(chuàng)新為引擎,推動檢測技術(shù)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展的協(xié)同共進,助力客戶在全球競爭中贏得先機。




臺階儀,光學(xué)輪廓儀,電化學(xué)工作站,納米壓痕儀,力電聯(lián)測材料試驗機,介電溫譜測量系統(tǒng),電阻測試儀,原子力顯微鏡,光學(xué)顯微鏡

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 類型 其他
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

高溫電阻測量系統(tǒng)

RMS1000S系列高溫半導(dǎo)體材料電阻率測量系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評估和測試,該系統(tǒng)采用四線電阻法測量原理進行設(shè)計開發(fā),可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。

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目前主要針對圓片、方塊、長條等測試樣品進行測試,廣泛用于半導(dǎo)體材料硅(si)、鍺(ge)、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦(InSb)三元化合物半導(dǎo)體GaAsAl、GaAsP,固溶體半導(dǎo)體,如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量。

高溫電阻測量系統(tǒng)功能特點

2 針對性質(zhì)不同的材料開發(fā)相應(yīng)的測試系統(tǒng)

2 多種保護措施,確保測試安全

2 溫度范圍廣:RT600/1000

2 可實現(xiàn)惰性、氧化、還原、真空等多種氣氛測量

2 樣品壓力大0.25N,保證測量過程不損壞樣品

2 上電極半球狀+下電極平板狀設(shè)計,可以精確定位測量被測樣品某一點

半導(dǎo)體材料-2W法

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半導(dǎo)體2W法計算公式

ρ=RS/L=Vs/IL

ρ =以厘米-歐姆為單位的電阻率

V =加載樣品上的電壓或電壓源輸出電壓

l =表示流過樣品的電流或電流源輸出電流

L =表示樣品的厚度

S =表示樣品橫截面積

型號

RMS 1000C

RMS 1000S

RMS 1000I

RMS 1000P

應(yīng)用范圍

導(dǎo)電材料

半導(dǎo)體材料

絕緣材料

半導(dǎo)體薄膜/薄片

測試方法

四線電阻法

半導(dǎo)體材料2線法

三環(huán)電極法*

雙電測組合直排4探針法

電極材料

鉑金電極,碳化鎢探針

鉑金電極

鉑金電極

碳化鎢探針鉑金探針

樣品規(guī)格

10mm×10mm×20mm

φ20mm,d<5mm

φ25mm,d<4mm

薄膜φ1530mm,d<4mm

電阻范圍

1nΩ1GΩ

0.1100MΩ

100Ω10PΩ

0.1100MΩ

0.1.cm100MΩ.cm

1mΩ.cm10MΩ.cm

1000Ω.cm1PΩ.cm

1mΩ.cm10MΩ.cm







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