Sensofar可集成光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)是我們20多年以來(lái)專注于表面測(cè)量系統(tǒng)的研發(fā)結(jié)晶，讓高精度和超高速測(cè)量得以結(jié)合。

非接觸式輪廓儀Sensofar共聚焦顯微鏡特點(diǎn)：

共聚焦輪廓儀的開(kāi)發(fā)目的是，測(cè)量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦輪廓提供最高的橫向分辨率，最高可達(dá)0.14μm水平分辨率，空間采樣可減少到0.01μm，這是關(guān)鍵尺寸測(cè)量的理想選擇。高達(dá)NA(0.95)和放大倍率(150X)的物鏡可用于測(cè)量局部斜率超過(guò)70°的光滑表面。對(duì)于粗糙表面，最高可允許86°。的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復(fù)性。

干涉

PSI相移干涉法可以用于測(cè)量亞埃分辨率的高度光滑和連續(xù)表面的高度?？梢允褂脴O低的放大率(2.5X)測(cè)量具有相同高度分辨率的大視場(chǎng)。

CSI相干掃描干涉法使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，達(dá)到1nm的高度分辨率。

大部分的生產(chǎn)環(huán)境并不十分友好——多變的工況、振動(dòng)、腐蝕性材料等都使測(cè)量任務(wù)變得更加困難。Sensofar測(cè)量系統(tǒng)良好的密封設(shè)計(jì)可防止碎屑和顆粒進(jìn)入以保持清潔，無(wú)運(yùn)動(dòng)部件的光學(xué)設(shè)計(jì)也使測(cè)量系統(tǒng)能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定工作。

非接觸式輪廓儀Sensofar共聚焦顯微鏡Sensofar可集成光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)的設(shè)計(jì)理念源于為質(zhì)量管控和產(chǎn)品質(zhì)量分析提供可靠的高性能產(chǎn)品。對(duì)于尺寸以及表面狀態(tài)迥異的產(chǎn)品，我們提供具有針對(duì)性的解決方案。

S neox滿足了靈活多樣， 高速，高精度的測(cè)量需求，定位為通用的工業(yè)檢測(cè)集成系統(tǒng)。