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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>其它半導體行業(yè)儀器設(shè)備>少子壽命測試儀>MDPmap-1 MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量儀

MDPmap-1 MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量儀

參考價 1000000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 束蘊儀器(上海)有限公司
  • 品牌 Freiberg Instruments
  • 型號 MDPmap-1
  • 產(chǎn)地 德國
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/6/27 8:06:10
  • 訪問次數(shù) 2463

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束蘊儀器(上海)有限公司自成立以來,憑借與德國布魯克(BRUKER)、國際衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)、德國Freiberg等國際實驗室分析儀器品牌的戰(zhàn)略合作,迅速成為業(yè)界儀器供應商。

我們擁有一支積極樂觀,正直誠信的年輕團隊,我們熱忱的信仰科學,相信科學技術(shù)能為我們的客戶帶來質(zhì)量較高的生活,為社會的進步起到積極的促進作用。

束蘊儀器為各類客戶提供完善的實驗室和工業(yè)檢測儀器及過程控制設(shè)備,專業(yè)的應用支持及完善的售后服務,在中國大陸的諸多領(lǐng)域擁有大量用戶,如高校、科研院所、航空航天、國家機關(guān)、檢驗機構(gòu)及工業(yè)企業(yè),產(chǎn)品覆蓋了醫(yī)藥、生物、材料、考古、電子、食品等各個行業(yè)。公司的宗旨:為客戶量身打造適合的綜合解決方案,技術(shù)支持和現(xiàn)場服務,系統(tǒng)高效的客戶培訓,快速及時的售后服務。

束蘊儀器,讓世界更清晰!

主營儀器設(shè)備:

--高分辨X射線顯微CT、多量程X射線納米CT、X射線衍射儀、X射線熒光光譜儀、電子順磁共振波譜儀(ESR/EPR)、臺式核磁共振波譜儀 TD-NMR、光學輪廓儀等 -- 德國布魯克Bruker 授權(quán)代理商

--PDF衍射數(shù)據(jù)庫、JADE軟件--國際衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)授權(quán)代理商

--晶圓片壽命檢測儀、在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測、晶圓片在線面掃檢測儀、臺式PID潛在誘導退化測試儀、釋光測定儀等--德國Freiberg Instruments授權(quán)代理商



單位名稱:束蘊儀器(上海)有限公司

詳細地址:上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號樓602室









MicroCT,顯微CT,微焦點CT,骨骼成像,顯微CT材料學檢測,微納顯微CT,X射線斷層掃描,TOC,元素檢測

MDPmap:     

單晶和多晶硅片壽命測量設(shè)備用于復雜的材料研究和開發(fā)。         

       

        

特點:        

  靈敏度:高的靈敏度,用于可視化迄今為止不可見的缺陷和調(diào)查外延層的情況        

◇  測量速度:6英寸硅片<5min,分辨率為1mm        

◇  壽命范圍:20ns到幾十ms        

◇  污染測定:源于坩堝和設(shè)備的金屬(鐵)污染        

◇  測量能力:從切割好的硅片到加工的樣品        

◇  靈活性:固定的測量頭可以與外部激光器連接并觸發(fā)        

◇  可靠性:模塊化和緊湊型臺式儀器,可靠性更高,正常運行時間>99%        

◇  重復性:> 99%        

◇  電阻率:電阻率測繪,無需頻繁校準        

       
技術(shù)規(guī)格:         

樣品尺寸                        

直徑達300mm(標準臺),直徑達450mm(定制),*小為5 x 5mm                        

壽命測量范圍 

20ns至幾十ms以上 

電阻率                        

0.2 - >103Ω·cm,p-型/n-型                        

樣品材料                        

硅片、外延層、部分或加工的硅片、化合物半導體及更多材料                        

可測量的特性

壽命 - μ-PCD/MDP (QSS), 光導率 

激發(fā)波長                        

選擇從355nm到1480nm的*多四個不同波長。980nm(默認)                        

尺寸規(guī)格                        

體積:680 x 380 x 450毫米;重量:約65公斤                        

電源                        

100 - 250V, 50/60 Hz, 5 A                        










MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量儀 - 細節(jié):       

◇  用于研發(fā)或生產(chǎn)監(jiān)控的靈活測繪工具      

◇  MDPmap被設(shè)計成一個緊湊的臺式非接觸電學表征工具,用于離線生產(chǎn)控制或研發(fā),在穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵(μ-PCD)下,在一個寬的注入范圍內(nèi)測量參數(shù),如載流子壽命、光導率、電阻率和缺陷信息。自動化的樣品識別和參數(shù)設(shè)置允許輕松適應各種不同的樣品,包括外延層和經(jīng)過不同制備階段的晶圓,從原生晶圓到高達95%的金屬化晶圓。        

◇  MDPmap的主要優(yōu)點是它的高度靈活性,例如,它允許集成多達四個激光器,用于測量從較低到高的注入水平的壽命,或通過使用不同的激光波長提取深度信息。包括偏置光設(shè)施,以及μ-PCD或穩(wěn)態(tài)注入條件的選項??梢杂貌煌牡貓D進行客戶定義的計算,也可以輸出主要數(shù)據(jù)進行進一步評估。對于標準的計量任務,預定義的標準只需按下一個按鈕就能進行常規(guī)測量。            


 附加選項:        

       

◇  光斑大小的變化       

◇  電阻率測量(晶圓)        

◇  方塊電阻        

◇  背景/偏光        

◇  反射測量(MDP)        

◇  太陽能電池的LBIC(擴散長度測量)        

◇  偏壓MDP        

◇  參考晶圓        

◇  硅的內(nèi)部/外部鐵制圖        

◇  集成加熱臺        

◇  靈活的激光器配置 


MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量儀測量案例

                

                

鈍化多晶硅的壽命圖                

多晶硅的鐵污染圖            

                

                

單晶硅的硼氧圖            單晶硅的缺陷密度圖            
          
碳化硅外延片(>10μm)-少數(shù)載流子壽命mapping圖(平均壽命τ=0.36μs)            
            
高阻硅片(>10000Ω·cm)-少數(shù)載流子壽命mapping圖            
            
非鈍化硅外延片(20μm)-少數(shù)載流子壽命mapping圖            


MDPmap 應用:

鐵濃度測定        

鐵的濃度的精確測定是非常重要的,因為鐵是硅中豐富也是有害的缺陷之一。因此,有必要盡可能準確和快速地測量鐵濃度,具有非常高的分辨率且**是在線的        

更多......        

     

摻雜樣品的光電導率測量        

B和P的摻雜在微電子工業(yè)中有許多應用,但到目前為止,沒有方法可以在不接觸樣品和由于必要的退火步驟而改變其性質(zhì)的情況下檢查這些摻雜的均勻性。迄今為止的困難……        

更多......        

       

       

陷阱濃度測定        

陷阱中心是非常重要的,為了了解材料中載流子的行為,也可以對太陽能電池產(chǎn)生影響。因此,需要以高分辨率測量這些陷阱中心的陷阱密度活化能        

更多......        

       

       

注入相關(guān)測量        

少數(shù)載流子壽命強烈依賴于注入(過剩余載流子濃度)。從壽命曲線的形狀和高度可以推斷出摻雜復合中心俘獲中心的信息。        

更多......        

      




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