VacIon Plus 40 離子泵
- 公司名稱 安捷倫科技(中國)有限公司
- 品牌 Agilent/安捷倫
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/5/27 22:03:48
- 訪問次數(shù) 376
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
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Agilent VacIon Plus 40 離子泵是一款中型 40 L/s 離子泵,用于真空電子設(shè)備、掃描電子顯微鏡 (SEM) 和學(xué)術(shù)和高能物理 (HEP) 研究的通用 UHV 和 XHV 系統(tǒng)。
Agilent VacIon Plus 40 離子泵提供穩(wěn)定真空和低漏電流,可保護(hù) SEM 應(yīng)用中的關(guān)鍵部件。我們的陽極設(shè)計(jì)和三極離子泵單元相結(jié)合,為優(yōu)化電子束色譜柱提供了強(qiáng)大的解決方案。提供高壓 (HV) 真空通導(dǎo)件等用戶可選擇的選項(xiàng),可用于輕松實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)集成。
可選擇三極離子泵、二極離子泵和惰性氣體二極離子泵抽氣單元,以為不同氣體提供最佳抽速
配備 ConFlat 2.75 英寸旋轉(zhuǎn)型或非旋轉(zhuǎn)型法蘭、額外 2.75 英寸 ConFlat 孔,可選不同方向的真空穿導(dǎo)件(Fischer、King、DESY、Varian、SHV 10kV (Safeconn))
無活動(dòng)部件,確保在高靈敏度應(yīng)用中無振動(dòng)運(yùn)行
低漏電流可提供穩(wěn)定的真空壓力讀數(shù)
低磁場可很大程度減少系統(tǒng)干擾
在 > 400 °C 的條件下進(jìn)行真空處理,并在真空下夾止,確保安裝前的清潔度和真空密封性
可定制不同的高壓真空穿導(dǎo)件、泵體幾何形狀、額外孔和抽氣單元布局,還可配備光學(xué)擋板、外部加熱器和屏蔽磁體,滿足您的需求
SEM 版本具有低漏電流和高穩(wěn)定性,可將電子干擾降至很低
可以根據(jù)您的具體需求添加特殊測試程序
加熱器電壓 |
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加熱器電源 |
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單元類型 |
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工作壽命 |
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抽氣口法蘭 |
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最大啟動(dòng)壓力 |
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最高烘烤溫度 |
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極限真空 |
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真空高壓接頭類型 |
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重量(只有泵時(shí)) |
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二極離子泵元件技術(shù)
二極離子泵由一個(gè)帶正電的陽極環(huán)元件和一個(gè)帶負(fù)電的鈦 (Ti) 陰極組成,它們浸沒在磁場中,使電子在生成的等離子體中撞擊周圍的氣體分子,從而產(chǎn)生正離子。較輕離子 (H2/He) 向陰極加速,穿透 Ti 層,而較重離子撞擊陰極,使 Ti 濺射,并覆蓋陽極環(huán)內(nèi)表面。H2、N2 和 O2 等可吸收氣體將與捕獲的 Ti 發(fā)生反應(yīng)。濺射和吸收效應(yīng)與二極離子泵的抽氣效應(yīng)同步。
三極離子泵元件技術(shù)
由于泵產(chǎn)生的離子流與真空度成正比,在許多應(yīng)用(如掃描電子顯微鏡 (SEM))中,離子泵可用作真空計(jì)。由于泄漏電流會(huì)與離子流疊加,因此需要將其盡可能降低。為了降低泄漏電流,安捷倫申請了一項(xiàng)陽極設(shè)計(jì)專利,該設(shè)計(jì)減少了空體積、尖銳邊緣和金屬“晶須”。這些預(yù)防措施有助于保持極低的泄漏電流,確保更好的壓力讀數(shù)。
SEM 陽極設(shè)計(jì)
由于泵產(chǎn)生的離子流與真空度成正比,在許多應(yīng)用(如掃描電子顯微鏡 (SEM))中,離子泵可用作真空計(jì)。由于泄漏電流會(huì)與離子流疊加,因此需要將其盡可能降低。為了降低泄漏電流,安捷倫申請了一項(xiàng)陽極設(shè)計(jì)專利,該設(shè)計(jì)減少了空體積、尖銳邊緣和金屬“晶須”。這些預(yù)防措施有助于保持極低的泄漏電流,確保更好的壓力讀數(shù)。