TESCAN VEGA掃描電鏡SEM是TESCAN第 四代產(chǎn)品中的一員，配置的無物鏡光闌鏡筒， 實(shí)現(xiàn)超大視野、高分辨及大景深成像，并且便于優(yōu) 化電子束參數(shù)，實(shí)現(xiàn)優(yōu)化成像觀察和分析應(yīng)用。

在TESCAN的Essence™操作軟件中，結(jié)合 了掃描電子顯微鏡成像和實(shí)時元素分析。這種組合 大大簡化了從樣品中獲取形貌和元素數(shù)據(jù)的過程， 提供了質(zhì)量控制、失效分析和實(shí)驗(yàn)室常規(guī)材料檢驗(yàn) 的有效得分析解決方案。

配置新穎的Essence™三維演示功能，保證了 樣品運(yùn)動時樣品室內(nèi)探測器的安全。

安全便捷的SingleVac™模式

SingleVac™模式主要用于直接觀察未進(jìn)行噴 鍍的不導(dǎo)電樣品或是對電子束敏感樣品，這個功能 已經(jīng)成為了 TESCAN VEGA掃描電鏡SEM的標(biāo)配功能。 不需要安裝壓差光闌，一鍵就可以切換高低真空模 式，操作簡易且不存在誤操作的可能性。

SingleVac™也可以搭配可選的UniVac™模 式，對于有更多需求的使用者而言，可以對樣品室 低真空進(jìn)行持續(xù)調(diào)整，最高可達(dá)500 Pa,用于 樣品進(jìn)行成像和分析。VEGA還能夠提供客戶一款 真空緩沖器(Vacuum Buffer),它可以顯著減少 旋轉(zhuǎn)泵的運(yùn)行時間，實(shí)現(xiàn)生態(tài)效益和經(jīng)濟(jì)效益。

•  SE 分辨率：3 nm @ 30 kV

•  8 nm @ 3 kV

•  超大觀察視野，最大可達(dá)50 mm

•  強(qiáng)大的低倍性能，為大樣品的觀察和定位提 供了便利

•  *集成的Essence™ EDS功能，可以快 速，輕松地從成像切換到元素分析操作

•  不需安裝壓差光闌，一鍵實(shí)現(xiàn)高真空到 SingleVac™低真空模式的切換，并實(shí)現(xiàn)低 真空模式下的大視野

•  可選配TESCAN 一體化EBIC, CL等諸多 探測器和第三方分析擴(kuò)展附件