Pluto-MD等離子去膠機

產品介紹 ：

去膠工藝是微加工過程中一個重要的過程，在電子束曝光，紫外曝光等微納米加工工藝后，都要對光刻膠進行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對樣片是否有損傷等問題，將直接影響后續(xù)工藝的順利完成。PLUTO-MD使用性能出色的組件和軟件，可對工藝參數進行精細控制。它的工藝監(jiān)測和數據采集軟件可實現嚴格的質量控制。該技術已經成功的應用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領域。

產品性能：

經過真空檢漏316不銹鋼腔體， 具備更好密封性能和保壓能力

5L腔體，雙層電極，離子密度可控

13.5EMHz射頻等離子源，兼容物理反應和化學反應，覆蓋全部樣品種類

等離子去膠機

創(chuàng)新可調電極，可以調整有效處理面積中等離子體的能量密度

標配兩路氣體，適應更多用戶需求。

采用電容觸摸屏，全數字控制。

全手動控制和預設工藝參數自動運行

武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業(yè)研發(fā)，以力學試驗機儀器為主，同時銷售各種、中低端分析儀器?，F有員工60多人，公司成功開發(fā)了PCI放大采集卡和中文版試驗軟件，并采用全數字化，操作簡捷，*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等標準、國家標準、行業(yè)標準的要求，公司亦通過了ISO9001質量體系認證和國家計量體系認證，榮獲了“武漢市第九界消費者滿意單位”的稱號。武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業(yè)研發(fā)，以力學試驗機儀器為主，同時銷售各種、中低端分析儀器?，F有員工60多人，公司成功開發(fā)了PCI放大采集卡和中文版試驗軟件，并采用全數字化，操作簡捷，*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等標準、國家標準、行業(yè)標準的要求，公司亦通過了ISO9001質量體系認證和國家計量體系認證，榮獲了“武漢市第九界消費者滿意單位”的稱號。