美國BROOKS布魯克斯公司熱式質(zhì)量流量計是為了滿足有關(guān)工藝過程中對測量精度、重復(fù)性和控制方面的要求而設(shè)計的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同，BROOKS質(zhì)量流量計通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產(chǎn)品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測流量可設(shè)計成質(zhì)量或體積單位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT質(zhì)量流量計產(chǎn)品都能同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容，安裝簡便。

BROOKS氣體質(zhì)量流量計/控制器產(chǎn)品特點是高精度、高零點穩(wěn)定性以及高重復(fù)性，而上述特性正是行業(yè)者對質(zhì)量流量測量和控制技術(shù)的需求所美國BROOKS布魯克斯公司熱式質(zhì)量流量計是為了滿足有關(guān)工藝過程中對測量精度、重復(fù)性和控制方面的要求而設(shè)計的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同，BROOKS質(zhì)量流量計通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產(chǎn)品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測流量可設(shè)計成質(zhì)量或體積單位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT質(zhì)量流量計產(chǎn)品都能同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容，安裝簡便。的可配置多氣體/多量程功能，相較于競爭產(chǎn)品擁有更好的零點漂移參數(shù)并且經(jīng)確證能夠更持久地保持出廠校準(zhǔn)狀態(tài)和精度。

BROOKS氣體質(zhì)量流量計/控制器產(chǎn)品特點：

1：期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 0.2%能夠根據(jù)命令變化迅速進行流量響應(yīng)并且過沖/下沖可忽略不計

2：流量范圍寬 - 從3 sccm 一30 slpm

3：耐高壓等級 - 高達 1,500 psi

4：可拆卸式流量傳感器

5：不受安裝角度影響

6：能和其他質(zhì)量流量控制器在機械和電氣設(shè)計方面兼容

7：電驅(qū)動閥超調(diào)

8：耐化學(xué)腐蝕閥門

BROOKS氣體質(zhì)量流量計/控制器技術(shù)參數(shù)：

流量范圍-滿量程容量：3sccm - 1000 slpm

精度：±1% of FS （1.5% of FS > 20 slpm）

重復(fù)性：0.25% of Rate

線性Included in accuracy：0.25% of Rate

響應(yīng)時間-常閉 ：  E Series Controllers: < 3 seconds Meters: 6 Seconds

壓力范圍Controllers: 1500 psig Meters: up to 4500 psig on some models

控制范圍：50:1

零點穩(wěn)定性：< 0.2% F.S. per year

輸入和輸出:  0-5 Vdc

電源：±15Vdc